中國科學院光電技術研究所

中國科學院光電技術研究所

中國科學院光電技術研究所(簡稱光電所)始建於1970年,是中國科學院在西南地區規模最大的研究所。1999年進入科學院知識創新工程試點,2006年進入創新三期,並被評估確定為科學院A類(優秀)研究所。

基本信息

簡介

中國科學院光電技術研究所(簡稱光電所)始建於1970年,是中國科學院在西南地區規模最大的研究所。1999年進入科學院知識創新工程試點,2006年進入創新三期,並被評估確定為科學院A類(優秀)研究所。

研究所簡介

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所
光電所現有在編職工1200餘人,其中中國工程院院士2人,四川省學術技術帶頭人14人,高級科技人員260人。全所設有“光學工程”博士後流動站,設有“光學工程”、“信號與信息處理”、“測試計量技術與儀器”3個博士學位授權點,“光學”、“光學工程”、“機械製造及其自動化”、“精密儀器及機械”、“測試計量技術及儀器”、“物理電子學”、“信號與信息處理”、“檢測技術與自動化裝置”、“計算機套用技術”等9個碩士學位授權點(涵蓋8個一級學科)。在讀研究生300餘人。

光電所以國家需求為牽引,面向世界光電科技領域發展前沿,重點開展光電工程套用基礎性、前瞻性的高技術研究與系統集成創新研究。建有國家863計畫光束控制重點實驗室、863計畫自適應光學重點實驗室和國家唯一的微細加工光學技術國家重點實驗室。主要研究領域包括:光束控制、自適應光學、天文目標光電觀測與識別、光電精密跟蹤測量、微光學及微電子光學、先進光學製造、生物醫學光學等,目前承擔有國家863、973、自然科學基金、部委重大重點項目及企業委託開發項目研究,研究水平居國內領先或國際先進。

建所以來,光電所在自適應光學、光束控制、套用光學等領域取得了多項重大成就,先後取得包括國家科技進步特等獎在內的500餘項科技成果,申請專利380餘件,授權專利180餘件,發表論文3100餘篇。與此同時,廣泛開展國內外學術交流與合作,促進高新技術項目的產業化。

光電所高度重視人才隊伍建設,堅持“事業育人、環境引人、待遇激人”,堅持“在公平競爭中識別人才,在創新實踐中培育人才,在事業發展中凝聚人才,在工作生活中愛護人才”,努力營造各類人才脫穎而出的政策環境。吸引、培養、穩定了一支以國內知名學者為核心,以中青年技術及管理專家為骨幹的創新人才隊伍。

在新時期,光電所堅持“國家重大創新項目牽引,科研產業共同發展,建立現代研究所”的辦所方針,與時俱進、開拓創新,努力建設成為國內領先的國家戰略科技力量和國際著名研究所,為國民經濟建設不斷做出基礎性、前瞻性的重大創新貢獻。

領導班子

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所

※ 所長:
張雨東(所長研究員四川省政協副主席)
負責領導研究所全面工作。主持所務委員會;負責全所發展戰略規劃的制定和實施;負責全所綜合計畫和財務管理,負責綜合處所長辦公室、財務處管理工作。

※ 黨委書記:
陳勝利(黨委書記高級工程師)
負責分管人事教育、離退休管理、安全保衛與保密、信息宣傳、檔案管理工作;分管人事教育處、安全保衛辦公室管理工作;協助所長協調機關處室工作。

※ 副所長:
楊虎(副所長黨委副書記研究員)
負責分管科技發展戰略規劃和全所科研管理工作;分管科技處管理工作;分管科研一部、科研二部的組織協調工作。

※ 副所長:
魏全忠(副所長研究員)
負責分管所產業發展戰略規劃和產業結構改革調整工作;分管所地產業合作及與五糧液集團的合作;分管四川科奧達公司(含物業管理服務公司)管理工作。

※ 副所長:
許冰(副所長研究員)
負責分管國有資產管理、技術平台建設、科技外事工作;分管部分學科領域科研工作和民品科研管理;分管資產管理處管理工作。

※ 副所長:
范天泉(副所長研究員)
負責分管質量管理、園區基本建設工作;分管研究生教育、公共公益事業管理工作;分管質量管理處、職工醫院、子弟學校管理工作。

機構設定

管理機構

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所

綜合處

綜合處是在所長和黨委書記的領導下負責全所綜合計畫、綜合統計、行政管理、綜合檔案管理、黨群系統管理和全所安全工作的職能部門。綜合處由所長辦公室、黨群辦公室和安全保衛辦公室組成。所長辦公室是負責所領導文秘、綜合計畫、綜合檔案、公共關係等工作,對全所各項工作進行巨觀協調、管理與服務的綜合辦事機構。黨群辦公室是我所黨委、紀委、團委、工會的日常工作機構,由黨委辦公室、紀監審辦公室、工會組成。安全保衛辦公室是在所長領導下負責治安、消防、國家安全、技術安全、職業健康與勞動保護、環境保護的職能部門,是公安機關在我所的基層組織。

科技處

※ 科技部一部主任(科技處處長):

楊文淑(研究員)

※ 科技部一部副主任(科技處副處長):

李聲(研究員)

科研一部主要由從事套用基礎研究和高技術創新研究的國家級重點實驗室以及從事光電工程系統研製的研究室組成。建有微細加工光學技術國家重點實驗室、國家863計畫自適應光學重點實驗室、國家863計畫光束控制重點實驗室及光電工程、套用光學、電視套用技術、光電探測、光電精密測試、光電感測技術、薄膜光學技術等十個研究室。科研一部機關與科技處合併辦公,在所長直接領導下組織實施我所科研計畫和科技管理的一個主要業務部門。科技處下設計畫科和科管科,負責全所高技術創新研究項目、院重大項目、國家攻關項目等組織落實與實施。

●套用基礎與創新研究>

◆微細加工光學技術國家重點實驗室

◆國家863計畫自適應光學重點實驗室

◆國家863計畫光束控制重點實驗室

●高技術研究與重大工程創新項目研究

◆光電工程總體研究室(一室)

◆光電探測技術研究室(三室)

◆微電子專用設備總體研究室(四室)

◆電視套用技術研究室(五室)

◆光電感測技術研究室(六室)

◆光電精密測量研究室(七室)

◆自適應光學研究室(八室)

◆薄膜光學研究室(十一室)

◆微細加工光學技術國家重點實驗室

◆國家863計畫自適應光學重點實驗室

◆國家863計畫光束控制重點實驗室

人教處

人事教育處:光電技術研究所的人事教育行政職能管理部門,主要負責全所的的人力資源開發與管理、研究生培養和離退休人員管理等工作,下設人力資源辦公室、研究生部、離退休辦公室。

人力資源辦公室:主要負責人員招聘、勞動關係管理、員工培訓、薪酬福利、績效考核、人事調配等工作。

離退休辦公室:主要負責全所離退休人員的管理、全所喪葬、撫恤等有關工作。

研究生部:主要負責研究生(碩士、博士、工程碩士)的招生、培養、就業、日常管理和研究生導師管理等工作。

財務處

財務處是在所長的領導下負責按照國家和中科院財經政策做好全所經濟管理、執行財務制度,合理用好用活各項資金的職能部門。

質量處

質量管理處是在所長領導下獨立行使質量管理職權的職能部門,負責質量、計量、標準化管理和項目質量控制,負責質量方針、質量目標的貫徹和進行質量策劃、質量控制、質量保證和質量改進。主要職責包括:按照所的質量方針和中長期質量目標,負責組織建立、實施、保持和改進質量管理體系;負責年度質量工作計畫的制定和年度質量目標的分解落實;負責產品質量管理和質量控制;負責全所計量器具檢定和計量測試管理;負責全所標準化、標準資料管理;負責產品質量檢驗的組織和實施。

質量檢驗中心是全所負責產品質量檢驗和計量器具檢定的技術業務部門,主要包括計量檢定室、精密零件檢驗室、總體檢驗室、化學分析室、環境條件試驗室等。現有專職檢驗員20名。其中,角度檢測技術處於國內領先水平,長度檢測技術在西南地區處於領先水平。質量檢驗中心在完成檢驗檢定任務的同時進行測試計量技術研究。獲實用新型專利4項;有1項科研項目獲中科院科技進步二等獎,3項獲中科院科技進步三等獎,1項獲中科院自然科學獎三等獎;發表科技論文50多篇;負責完成3項國家計量檢定規程/技術規範的起草工作和2項國家標準起草工作。

質量管理處與質量檢驗中心合署辦公。

光電所質量方針:

不斷創新,精心研製光電產品;持續改進,全力滿足各方要求

光電所中長期質量目標:

1)確保質量管理體系持續有效運行,並不斷改進完善;

2)最終產品質量滿足規定要求,綜合技術水平達到國內外先進;

3)重大項目(產品)研製一次成功,出所驗收(鑑定)一次通過;

4)顧客滿意度>90分。

中國科學院成都幾何量及光電精密機械測試實驗室

中國科學院成都幾何量及光電精密機械測試實驗室於1996年經中國科學院批准建立(科發計字[1996]0490文),1996年11月27日通過國家計量認證(證書編號:97量認國字Z1585號),2002年3月11日通過計量認證複評認證(證書編號:2002量認國字Z1585號),是可向社會提供公證檢測數據的國家級產品質量檢驗機構。

該實驗室通過計量認證的檢測範圍包括3大類10餘種參數:

長度類:①0-30m的位置誤差;

②0-1.5m長光柵尺及光柵感測器的位置誤差;

③0-1m長度值的檢測;

④光柵線位移感測器、光柵線位移測量系統數顯測高儀和測微儀的定型鑑定及樣機試驗。

角度類:①0-360°各種角值及儀器的檢定;

②度盤、光柵盤的位置誤差;

③光電軸角編碼感測器、分度台和自準直儀的定型鑑定及樣機試驗。

光學類:①光學零件的幾何量:面形誤差(球面、平面)和楔角;

②光學系統光特徵參數:焦距、視場和放大率等;

③光度性能:透過率、反射率、照度均勻性和雜(散)光係數;

④象質:分辨力、幾何象差和光學傳遞函式實驗室.現有設備34台套,其中有多台儀器設備為國內領先水平,主要包括:三坐標測量機、數顯光電自實驗室現有設備34台套,其中有多台儀器設備為國內領先水平,主要包括:三坐標測量機準直儀、雷射數字干涉儀(立式、臥式)、光學傳遞函式測量儀、輪廓儀(非接觸式)、數顯測高儀、雙頻雷射干涉儀、碼盤檢驗儀等。

實驗室現有檢測人員20人,其中研究員3人,高級工程師5人,碩士以上6人。實驗室角度、光學精密測試技術處於國內領先水平。

該實驗室成立以來,先後為清華大學、四川大學、北京理工大學、中國工程物理研究院、西南技術物理研究所、成都飛機工業公司、航天8358所、成都質量技術監督局龍泉驛分局、成都精密光學中心、成都科儀中心等多家單位提供檢測技術服務。

科研一部

科研一部主要由從事套用基礎研究和高技術創新研究的國家級重點實驗室以及從事光電工程系統研製的研究室組成。建有微細加工光學技術國家重點實驗室、國家863計畫自適應光學重點實驗室、國家863計畫光束控制重點實驗室及光電工程、套用光學、電視套用技術、光電探測、光電精密測試、光電感測技術、薄膜光學技術等十個研究室。科研一部機關與科技處合併辦公,在所長直接領導下組織實施我所科研計畫和科技管理的一個主要業務部門。科技處下設計畫科和科管科。

●套用基礎與創新研究

◆微細加工光學技術國家重點實驗室

◆國家863計畫自適應光學重點實驗室

◆國家863計畫光束控制重點實驗室

●高技術研究與重大工程創新項目研究

◆光電工程總體研究室(一室)

◆光電探測技術研究室(三室)

◆微電子專用設備總體研究室(四室)

◆電視套用技術研究室(五室)

◆光電感測技術研究室(六室)

◆光電精密測量研究室(七室)

◆自適應光學研究室(八室)

◆薄膜光學研究室(十一室)

●部門領導

※ 科技部一部主任(科技處處長):楊文淑(研究員)

※ 科技部一部副主任(科技處副處長):李聲(研究員)

光電工程總體室

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所
光電工程總體室即與國家863計畫光束控制重點實驗室同室,是1997年開始籌建,1999年成立並進入科學院知識創新工程試點。實驗室以光電所雄厚的光電技術為基礎,開展光束控制技術的套用基礎研究、套用研究和高技術創新工作,同時加強技術儲備並建設一支高水平跨世紀的科技隊伍,目標是建成國內一流光束控制研究中心。

人員結構與人才培養

※實驗室主任:馬佳光研究員

※實驗室副主任:陳洪斌研究員

※目前,該實驗室固定科技人員50名,流動人員約50人。在已招聘的41名固定人員中,院百人計畫入選人員1人,研究技術人員41人,平均年齡35.73歲,45歲以下占82.9%,55歲以下占90.2%。流動人員包括約20餘名參加實驗室工作的研究生,固定人員中留有7個名額作為引進優秀人材和配備2名必要的輔助人員。目前,實驗室具有光學工程博士點1個,光學工程、物理電子學、檢測技術與自動化裝置等3個碩士點,光學工程博士後流動站1個。

光電探測技術室

主任:高曉東研究員博士生導師

副主任:吳欽章研究員博士生導師

光電探測技術研究室現有正式職工42人。其中研究員4名,副研究員5名,助理研究員和工程師12名,研究實習員17名,在職職工中碩士16名,博士9名。

該室主要研究方向是光電系統集成技術、數字圖像處理技術、高速圖像數據記錄技術、光電探測技術和計算機套用技術等多門學科。

承擔了863信息領域面陣CCD數字航測相機系統研製和大面陣彩色CCD數字航測相機系統研製等航空遙感測量項目的研究。同時第三研究室還以863技術研究的成果為基礎,承擔了多項工程光電測量系統的研製工作。

在人才培養方面,近兩年來新招碩士、博士生24人。

碩士生導師:

馬文禮:研究員,主要從事光機結構和光電工程總體集成技術研究。

楊世洪:研究員,主要從事先進光電探測技術與感測器套用技術研究。

虞乃君:副研究員,主要從事計算機套用技術研究。

蘇海冰:副研究員,主要從事圖像獲取與處理技術研究。

微電子設備總體室

我室的主要學科方向為微光學與微電子光學設備。微光學與微電子光學設備是中國科學院光電技術研究所的重點研究學科之一,二十多年來堅持不懈,瞄準世界技術前沿開展新理論、新方法、新技術等前瞻性創新研究,在微細加工光學技術與裝備研製方面不斷迅速拓展,培養和造就了一支從設計、工藝、加工、裝調檢測技術結構合理的科研隊伍。具有光、機、電技術的綜合科研優勢和配套完善的開發、製造與檢測能力,為完成國家重大工程和產品研發提供有力有保障。先後研製完成了“1.5~2μm實用型分步重複投影光刻機”、“0.8~1μm分步重複投影光刻機”、“0.7~0.8μmi線投影曝光系統”、“0.35μm投影光刻關鍵單元技術研究”等國家科技攻關及中國科學院重大項目11項,其中獲國家科技進步獎2項、國家新產品獎1項、院(省、部)科技進步獎10項,國家專利40餘項。

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所

我室近期研發的URE—2000型系列i線深度光刻機,單、雙面光刻機,不斷在關鍵技術上取得創新與突破,尤其在深度光刻中具有特色,對開展微電子,微光學、微機械系統、光電器件、準LIGA及聲表面波等器件的研製和生產深層光刻器件具有突出的功能和用途,受到國內、外眾多用戶的青睞和讚賞。在中國科學院知識創新工程的支持下,在國內創新研發的生物晶片檢測儀器——雷射共聚焦生物晶片掃瞄器、CCD生物晶片檢測儀等多項生物晶片檢測前沿技術成果,先後取得了多項創新成果和專利,使得我國生物晶片儀器研發整體水平步入國際先進行列。該成果產業化已初見成效,目前已形成小批量商品化生產能力,成為目前國內研製生物檢測儀器種類最全、品種最多的研發單位,受到社會的廣泛關和歡迎。

光電探測與信號處理

光電探測與信號處理研究室是中國科學院光電技術研究所的第五研究室。

人員結構與人才培養

我室現有職工33人,其中研究員3人,副研究員11人,中級研究人員12人,具有碩士以上學歷的12人;全室在讀研究生18人,在讀博士生8人。

目前,我室具有光學工程博士點1個,信號與信息處理、物理電子學2個碩士點,光學工程博士後流動站1個。已經培養出博士生2名,碩士生11名,博士後出站一名。

室結構及研究內容

我室的研究與開發力量由:圖像處理組、DSP技術組、光電探測組、研究生組、電器裝配組五個專業組構成。

在科研開發中,我們形成了自己的特色與優勢技術。主要有:

*高幀頻、高精度測量技術;

*高速多功能處理平台開發技術;

*嵌入式、模組化數字處理單元技術;

*高速數字圖像無損記錄技術;

*數字圖像實時仿真技術;

*算法實時仿真技術。

導師介紹

張啟衡,男,研究員,博士生導師,現任中國科學院光電技術研究所第五研究主任、國家某重點實驗室責任研究員、四川省電子學會光電子專業委員會副主任。1977年畢業於成都電子科技大學電視專業,1986-1987年前往美國邁阿密大學進修。主要研究領域為目標探測與信號處理。

王敬儒,男,研究員,博士生導師,1967年畢業於成都電訊工程學院(電子科技大學)無線電通信專業。1983-1999年任中國科學院光電技術研究所電視套用技術研究室副主任、主任,光電工程編委,所學位評定委員會委員、所經濟技術評審委員會委員,中國電子學會會員,中國生物醫學工程學會會員,四川省光電技術教授級諮詢師。研究領域為光電技術及其套用,主要內容包括光電探測、信號檢測、數位訊號處理、數字圖像處理等。

光電感測技術

第六研究室現有正式職工38人,其中研究員3名,副研究員及高級工程師11名,助理研究員及工程師13名。

第六研究室長期從事光電感測與精密測試技術的研究、開發及分劃元件製造。其成果和技術廣泛套用於電子、機械、化學、化工、能源、交通、生物、醫學、航空航天以及日常生活各領域。與此同時,基於光電感測技術而開發的各種轉台、編碼器等系列產品,已成功套用於現代經濟各部門。取得了良好的經濟效益和社會效益。目前,該室的技術與成果已處於國內領先水平。

該室目前從事的主要研究工作為:

一 各種自製精密測試設備

1.JC-1精密測角儀:為上世紀80年代研製的高精度測角儀器,曾榮獲中科院科技進步獎二等獎,至今仍為國內最高水平,可作國家基準,其動態瞄準精度達0.025”,測角準確度為±0.1”。

2.MJ-50碼盤自動檢查儀與上世紀80年代研製成功,並獲得中科院科技進步獎一等獎,它能對Ø50-Ø500的各種光柵、碼盤進行自動檢測,其精度為中誤差<0.2”。

3.CD-50光電圓刻線機為自動刻劃設備,中誤差<0.2”,它的各種性能指標與國外同類進口設備相當,可完全代替進口。曾獲國家新產品金龍獎。

4.1.8M雙頻雷射定位長柵刻劃與檢測裝置我國能夠自主自動刻劃並檢測長光柵的高精度刻劃檢測設備,它於上世紀90年代初研製成功,其刻劃精度達0.6μm/1.5M。

二 高精度編碼器

GBZ/GBJ系列編碼器是光電所的拳頭產品,理想的測角元件,其測角精度最高達3σ=0.2”,測角解析度為360º/226,其光柵盤外徑達Ø410,精度3σ<0.1”,為國內最高水平。

三 精密轉台

結合光電感測技術研製的精密測試轉台,從一維二維到三維,測量和定位最高精度達到0.3”(3σ)。

四 模擬器測試設備

在各種模擬測試設備方面,套用光、機、電、計算機綜合技術,先後研製過太陽模擬器、地球模擬器、月球模擬器等設備,各方面性能均滿足用戶需求。

自適應光學實驗室

自適應光學實驗室與國家863計畫自適應光學重點實驗室同室,前身為1980年光電所在中科院支持下於國內率先成立的自適應光學研究室,實驗室於1995年發展為國家863計畫自適應光學重點實驗室(即“國家八六三計畫大氣光學重點實驗室”自適應光學部分),1999年進入科學院知識創新工程試點,是國內唯一從事自適應光學實用系統研製及新技術研究的實驗室。

人員結構與人才培養

※實驗室主任:姜文漢院士

※實驗室副主任:張雨東研究員

※目前,該重點實驗室科技人員40人。其中中國工程院院士1人,博士生導師3人,中科院百人計畫1人,研究員7人,副研究員12人,助理研究員及工程師、實驗師12人。博士及在職博士生7人,平均年齡36歲,40歲以下青年科技人員占84%,是一支以年輕人為主體、結構合理、層次較高的研究群體。目前,該實驗室擁有光學工程碩士點、博士點、博士後流動站各一個。

實驗室結構及研究內容

該實驗室按技術領域分工,各有側重,研究方向與內容密切相連,由4個研究組組成。即:雷射大氣效應校正研究組、能動光學器件和波前校正器研究組、慣性約束聚變光束控制研究組、高解析度自適應光學望遠鏡研究組。

(一)雷射大氣效應校正研究組主要研究大氣對雷射傳輸的影響,研製用於校正大氣湍流效應與熱暈效應的自適應光學系統。

(二)能動光學器件和波前接征器研究組主要研製套用於各種系統中的能動光學器件,並開展新型波前校正器、能動光學器件和驅動精密定位技術研究,同時積極探索自適應光學系統小型化的關鍵技術與工藝,向國民經濟領域和其他科研領域拓展。

(三)慣性約束聚變光束控制研究組主要針對慣性約束聚變系統需要提高光束質量的要求,對聚焦光斑進行控制和校正,研製用於ICF光束控制系統。

(四)高解析度自適應光學望遠鏡研究組著眼於天文觀測及自然星體等需要,研製能在可見光與紅外波段對自然星體等進行高解析度成象觀測的自適應光學系統。

學術交流與合作

實驗室堅持“開放、聯合”的方針,積極開展各種學術交流,特別是在天文和眼科自適應光學,加強與國內外學術交流與合作。1996-1998年在各類刊物上發表論文52篇,國際會議發表文章11篇。在共同完成國家重大項目任務中,實驗室與中科院安光所、大連化物所、上海光機所、北京天文台及雲南天文台,以及中國工程物理研究院等有良好的學術交流和合作關係,促進了研究水平的提高。每年派出2-3名科技人員參加SPIE、ICO等國際學術會議,或選派科技人員到國外進修深造,了解國外在自適應光學領域最新動態。注重吸引國內外高水平專家來實驗室講學和開展合作研究。在國內,與兄弟院所、研究室開展實質性的合作研究與聯合創新,優勢互補,務求實效,已經取得或將要取得一批重要創新成果。

科研成果

近二十年來,實驗室先後研製成功19單元、21單元、37單元、61單元等多代具有國際先進水平的自適應光學系統,並成功套用於慣性約束聚變、大氣雷射傳輸校正、人眼視網膜成像檢查等國家863重要領域和重大科學工程任務。標誌我國已經全面掌握這一重要技術。

在國家863項目支持下,該實驗室進一步調整了學科方向,明確了優勢領域,加強了實驗室建設,短短几年內取得一系列高水平、高顯示度的科研成果。獲得多項科技進步獎,僅從93年以來的7年間,該實驗室獲得13項高等級成果獎,其中國家科技進步二等獎3項、三等獎3項,中科院科技進步特等獎1項、一等獎5項,國家部委級科技進步一等獎1項;1996-1999年申請專利9項,授權專利2項。取得一系列富有特色的高水平創新成果,形成自適應光學、能動光學器件、納米級微驅動定位技術三個具有特色的研究方向,是國內自適應光學領域研究水平領先、在國際上也居前列並具有重要影響的實驗室。並因其建立了國際上也不多見的從器件研究到系統研製的全面基礎技術,拓展了從天文觀測到大氣雷射傳輸校正等廣闊的套用領域,被國外同行稱為“世界上規模最大的自適應光學技術研究群體”。

實驗室發展目標

按照科學院知識創新試點的要求,該實驗室將逐步建立創新體制和聯合、開放、競爭、流動的的機制,增加活力,形成立足需求、不斷創新、滾動發展的良性循環,爭取在雷射大氣效應校正、慣性約束控制、天體高解析度觀測、能動光學器件等方面取得一系列突破。積極開拓新理論、新方法、新技術的研究和新器件的研製,培植和發展新的學科生長點,增強技術儲備,開拓新的套用領域。繼續保持實驗室國內領先,國際前沿的地位。

薄膜光學實驗室

薄膜光學技術是我所的重要單元技術之一,也是雷射技術和現代通訊技術發展不可缺少的技術基礎。過去的30年中,經過幾代人的不懈努力,我所的薄膜光學技術從無到有,從小到大,逐漸發展壯大起來。特別是近幾年來,在中科院知識創新工程的支持下,我所薄膜光學專業和薄膜光學技術研究室都取得了長足的進步,逐漸發展成為在科學院內具有一定影響力、在國內具有較強競爭力的、以雷射薄膜元件製備和套用研究為主要特色的研究室。其影響力和競爭力主要體現在以下幾個方面:

※首先由於薄膜光學技術研究室屬於國家863計畫光束控制重點實驗室的一部分,是我所第一批進入中科院知識創新工程試點單位之一,隨後又順利的進入第二期創新。因此,在科研條件和科研經費上得到了創新工程的有力支持,硬體設施得到了極大的改善。在過去5年中,採取自主設計組建和從國外引進相結合的方式,先後建立和引進四套鍍膜系統和三套薄膜參數測試系統,其中,2001年建成並投入使用的ZZS2200鍍膜系

統是目前國內最大的箱式鍍膜機。同時,我們的製備技術也從過去單一的真空蒸鍍,逐漸形成了現在的電子束蒸發、離子束輔助沉積以及離子束濺射等多種先進沉積技術。目前,我室擁有各種大型鍍膜系統9套,大型測試裝置8台套,初步形成了光學薄膜元件研究與發展的技術平台。

※ 其次,在科學院創新工程的支持下,薄膜光學技術研究室的人才結構有了很大的改善。過去,由於歷史的原因,從事薄膜製備的大多是一般的技術工人。人們也往往將薄膜製備技術簡單地稱之為鍍膜,而忽略了它的研究功能。經過近5年的發展。目前,薄膜光學技術研究室有碩士5人、博士5人,科學院百人計畫1人,共占在編人員的50%,人員組成結構和學歷層次日趨合理。

※第三,在科研項目和任務方面,由於得到了國家863發展計畫和國家重大預研項目以及科學院知識創新工程的資助,科研項目和任務一直處於比較飽滿的狀態。正是在這些具有相當挑戰性的科研項目和任務的推動下,我們才有了不斷進取的動力。一批具有一定影響力的技術創新成果湧現出來。例如,我們在國內首次開發出了離子束濺射鍍膜機的行星轉動系統,同時也是國內第一個將離子束濺射技術成功地用於製備大面積、高反射率、高損傷閾值、低畸變、低吸收損耗薄膜元件的單位。

※光學薄膜專業是一個多學科綜合交叉的專業,研究領域非常廣,涉及到諸多物理問題和技術問題,既具有非常強的基礎研究特色,又具有很強的產業背景。薄膜光學技術研究室現有博士生導師3名,碩士生導師3名,面向全國招收光學工程、計量測試專業的博士和碩士研究生,並歡迎相關專業的博士後、客座教授(研究員)等流動科研人員來我室工作。

科研二部

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所

科研二部是我所承擔科研試製加工任務的重要技術支撐部門,下設精密機械製造中心、先進光學研製中心、光學工程總裝中心、質量檢測與計量中心、科技信息中心、物質供應中心,具有光學、機械加工及裝配、檢測能力,並向全所提供科技信息和物資供應服務。建所以來出色完成了我所承擔的所有重大科研項目的試製加工任務,並充分發揮配套齊全的生產製造與設計開發能力,積極開展與所外單位的科技開發合作。

科研二部具有承擔各類精密光學機械製造的能力,配備有門類齊全的機械加工設備及進口高精度光學坐標鏜床、高精度車床、各類磨床及數控加工中心等設備。通過多年來的工藝研究及技術積累,逐步形成了有特色的精密機械製造平台,多項單元技術處於國內外領先水平。

在光學加工方面,主要從事各類Φ5mm~Φ1600mm平面鏡、球面鏡、非球面鏡和稜鏡等高精度光學元件加工,以及各種透光膜、反光膜、折光膜、濾光膜和保護膜等膜系的鍍制。擁有雷射干涉儀等先進的光學檢測設備。

在光學裝調方面,科研二部擁有進口的2000MARKIII光學傳遞函式分析系統、GPI-XP雷射數字干涉儀等高精度測試儀器和自製的Φ700平行光管、大型多功能檢測架,獨創的光學系統定中心方法與儀器、高性能鏡頭的定心裝校技術均處於國內領先水平。可承接各類航空航天鏡頭及大型精密光刻鏡頭的光學裝校。

經過多年的不懈努力,科研二部在光測設備、半導體設備等大型光學儀器製造技術及大鏡面加工技術等方面取得了重大突破,使得光電所成為了我國重要的光學儀器研製基地。

高技術系列產品

※雷射空間通訊系統

※高精度中心偏測量儀系列

※0.1"測微自準直儀系列

精密機械加工中心

精密機械製造中心是中國科學院光電技術研究所科研創新技術支撐平台重要組成部分,是集精密機械零件製造、裝配於一體的主體單位之一。中心共有121人,下設一個計畫調度組、一個工藝技術組、加工及鉗工裝配等七個作業組。工作場地由機械加工大廠房(2900m2左右)和精密零件加工恆溫車間(1200m2左右)組成,共有各類設備115台,配備有進口高精度光學坐標鏜床,高精度車床,各類磨床及數控銑床等設備,其中德國、瑞士等國進口精密設備8台。技術工藝、加工特長是高精度零件的加工和整機裝配,具有很強的承擔各類光學精密儀器的研製能力,重點為:精密軸系、高精度箱體、軸、環類和高精密鏡頭零件的加工。

【機械加工大廠房】

長期以來,該中心的科技人員和技術工人配合我所各研究室的科研工作,積極開展工藝研究,逐步形成了具有我所特色的多種工藝技術平台。

【精密零件加工恆溫車間】

精密機械製造中心是中國科學院光電技術研究所科研創新技術支撐平台重要組成部分,是集精密機械零件製造、裝配於一體的主體單位之一。中心共有121人,下設一個計畫調度組、一個工藝技術組、加工及鉗工裝配等七個作業組,共有副高級職稱技術人員5人,中級職稱技術人員3人,技師6人,高級工人50人,我中心現有大學本科學歷人員8人,大中專學歷12人。工作場地由機械加工大廠房(2900m2左右)和精密零件加工恆溫車間(1200m2左右)組成,共有各類設備115台,其中德國、瑞士等國進口精密設備8台。技術工藝、加工特長是高精度零件的加工和整機裝配,重點為:精密軸系、高精度箱體、軸、環類和高精密鏡頭零件的加工。

【數控龍門銑】

能進行中、大型零件的加工,具有精度高,加工質量穩定等優點。

【軸承環】

加工後的主要精度指標:尺寸70兩端面平行度為0.006mm,兩端面的平面度均為0.003mm。

先進光學研製中心

※高精度光學系統光學加工技術平台先進光學研製中心一直致力於三個技術平台的建立。一是大鏡面製造測試技術平台;二是超光滑表面製造技術平台;三是高精度光學系統光學加工技術平台。

該平台是在所光刻物鏡研製過程中逐步建立起來的。為該平台購置的干涉儀、測厚儀、研製的無變形膠合技術及培養的技術人員和技術工人,使得該平台在國內具有相當的知名度,為我所的光刻物鏡及其它高精度光學系統研製做出了較大貢獻。對完成λ/20的平球面加工和秒級膠合偏心已具備了人員、設備和技術上的優勢。

※大鏡面製造及測試技術平台

該平台在人員上已由90年代的2-3個技術人員、2個技術工人發展成現在的十幾個博士、碩士和本科生組成的研究群體,8個技術工人組成的加工群體。該群體近幾年開展了大鏡面製造設備、檢驗方法和儀器、製造工藝技術的全方位研究,取得了一些有顯示度的成就。如:先進數控加工設備,半自動加工機械手,哈特曼測試技術套用於大鏡面的檢驗,補償器設計和套用,大鏡面超光滑表面加工技術等。

※超光滑表面加工技術平台

先進光學研製中心近年來開展了矽、鍺、CaF2、ZnS、硒化鋅等紅外材料和熔石英材料的超光滑表面粗糙度加工工藝技術研究。特別是柱面鏡的超光滑表面粗糙度加工水平已是國內最高水平。

光學工程總裝中心

光學工程總裝中心主要承擔我所科研產品的光學總裝,並開發研製光學測試儀器。成立30年來,完成電影經緯儀、光刻機、光束控制儀等儀器上百台套;開發研製電儀器裝校等方面處於國內領先地位。在紅外、微光、雷射方面也取得了很大的發展。

質量檢測與計量中心

質量是光電所的生命。嚴格按照ISO9001國際質量管理體系標準進行產品研製與生產。

確定“不斷創新,精心研製光電產品;持續改進,全力滿足各方要求”的質量方針;建立健全質量管理體系和規範質量管理制度,加強研製生產過程控制,以保證產品質量滿足規範或用戶要求。

物資供應中心

物資供應中心是研究所科研、試製生產的物資器材支撐部門。設有電子元器件庫、光學材料庫、電儀(工)庫、金屬材料庫、工具庫、化學試劑庫及轉運服務組,負責全所科研、試製生產的物資供應與服務工作。

物資供應中心從物資的計畫、申請、採購、復驗、入庫、保管、發放全過程嚴格按照ISO9001質量管理體系標準及管理規定進行管理。庫存物量實行計算機信息管理。中心致力於以提供優質、高效的一流服務為宗旨,以信息靈通、業務精通、渠道暢通為工作奮鬥目標,努力為科研、試製生產做好物資保障。

高技術研發

ROV-S07小型潛水器

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所

該遙控潛水器美觀小巧,回響快速,操控靈活,能潛入水中360度靈活運作,前進速度達25米/分,上浮下沉速度達8米/分,可完成攝像、觀察、測量、作業等多項任務。它配備前後兩台攝像機、電子水溫計、水壓計等多個感測器,前端還帶有機械手,能根據不同需要擴展功能,適用於核電站、水庫、海洋等水下作業環境,具有廣泛的市場前景。

URE-2000D型大面積紫外光刻機

中國科學院光電技術研究所中國科學院光電技術研究所

用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。

技術特點:

◆採用3500W直流高壓汞燈;◆採用蠅眼透鏡實現高均勻照明;

◆實現超大面積光刻;◆採用CCD自動對準,自動化程度高;

◆性能可靠、操作方便。

主要技術指標

★曝光面積:430mm×430mm;

★分辨力:3µm;

★對準精度:≤±1µm;

★掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;

★照明均勻性:±10%(430mm×430mm範圍);

★掩模相對於樣片運動行程:X:±6mm;Y:±6mm;θ:±6度;

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