唐平百濟及熊津等五都督府的設立
百濟、新羅同為唐朝藩屬。唐高祖時，曾冊封百濟王扶余璋為帶方郡王、百濟王。百濟恃仗高句麗支持，多次侵犯新羅，二者結為世仇，武裝衝突不斷。唐太宗詔諭扶餘璋，勸其勿侵新羅，扶餘璋陽奉陰違，不肯奉詔。唐高宗永徽六年(655年)，百濟王扶餘義慈與高句麗、靺鞨聯兵攻新羅，奪新羅三十餘城，新羅遣使入唐求援。
唐高宗顯慶五年(660年)，唐高宗命左衛大將軍蘇定方為神丘道大總管，率左衛將軍劉伯英、右武衛將軍馮士貴、左曉衛將軍龐孝泰等，統兵13萬，聯合新羅伐百濟。唐軍攻陷百濟國都泗沘城，生擒百濟義慈王及太子扶餘隆。百濟宣告滅亡，5部37郡共76萬人戶完全納入了唐朝的直接統治之下(參見“唐滅百濟之戰”)。
唐朝於百濟故地設定了“熊津、馬韓、東明、金漣、德安五都督府”，將其納入唐羈縻府州體系，五都督府下轄37州250縣。唐朝委任右衛郎將王文度為熊津都督，統兵鎮撫全境，又命左驍衛郎將劉仁願率兵一萬鎮守百濟城，委派當地的酋長分任都督、刺史。
唐朝在百濟故地所設立的府州雖然屬羈廉性質， 但其作用和意義卻極為重大。有人認為這是中國中原政權第一次在朝鮮半島南部地區正式設立府州，其實不然。早在東漢末年公孫氏割據遼東時，就曾在樂浪郡南開拓了疆土，後割樂浪郡屯有縣及其以南之地設帶方郡，其轄境已達到今朝鮮半島南部的漢江流域，曹魏因之。唐滅百濟是繼漢魏之後又一次在半島南部地區設定府、州、縣，與漢魏相比是將新羅之外的半島南部之地完全納人了唐王朝的版圖， 已遠遠超過了漢魏統轄的範圍。唐朝為了紀念這件大事，於同年八月十五日在扶餘王城特地樹立了《大唐平百濟國碑銘》。唐朝滅亡百濟，從戰略意義上講，解除了新羅南部的武力威脅，更進一步密切了唐朝與新羅之間的合作關係；消滅了高句麗政權戰略夥伴，等於斬斷了高句麗的左臂，更有利於高句麗問題的最後解決和整個遼東及朝鮮半島地區的穩定。
平叛及白江口之戰
熊津都督王文度不久病故，使半島南部又陷人了一場動亂。扶餘璋之侄福信乘王文度病故之機，從倭國(日本)迎回王子扶餘豐，立為王，據原百濟周留城，聯合倭兵發動反唐叛亂，圍攻劉仁願。
龍朔元年(661年)，唐高宗命劉仁軌為帶方刺史，繼任熊津都督，率唐兵聯合新羅入百濟故地平叛。龍朔三年(663年)唐軍在熊津白江口大破倭兵，“四戰皆克，焚倭船四百艘，海水為丹”，“百濟諸城，皆復歸順”，最終獲得了平叛的勝利(參見“白江口之戰”)。
熊津穩定和改制
戰後，高宗召劉仁願、孫仁師回朝，令劉仁軌領兵鎮守百濟。百濟這個小國，窮兵黷武，不自量力，結果搞到“合境凋殘，殭屍相屬”的地步（《舊唐書·劉仁軌傳》）。劉仁軌做了大量的恢復工作，掩埋骸骨，登記戶口，修路架橋，贍養孤老。又在百濟頒布大唐正朔及廟諱，百濟人心大悅，各安其業。劉仁軌還在百濟屯田積糧，訓練士卒，把百濟故地經營成了攻打高句麗的前進基地。
此前，百濟有兩位首領沙吒相如、黑齒常之，在蘇定方撤軍後，招集百濟亡眾據險固守。白江口海戰後，兩人各率部眾歸降唐軍。劉仁軌見他倆忠勇有謀，便力排他議，委以重任，為大唐收攬了兩員大將。其中黑齒常之後來在邊境戰爭中立下大功。
麟德二年(665年)，唐朝對百濟故地進行行政改制。一是百濟各都督府、州、縣的合併，五都督府合併為統一的熊津州都督府，都督府仍治泗沘城(今韓國忠清南道扶餘郡)；二是合併後的熊津都督府由正設轉變為羈縻化。
前百濟太子扶餘隆被唐高宗任命為熊津都督府都督，管理百濟故地和遺民。但扶餘隆懼怕新羅加害於己，未敢赴任，只好由唐朝將領劉仁軌檢校熊津都督。高句麗滅亡後，劉仁軌、劉仁願回國，熊津都督依然是未敢赴任的扶餘隆，代行其事的是百濟人熊津都督府長史難汗、熊津都督府司馬禰軍。
熊津都督府的淪陷和內遷
為了統合當時百濟新羅兩國力量合力攻滅高句麗，唐朝強迫新羅與熊津都督、前百濟太子扶餘隆於麟德二年（665年）八月結盟。新羅助唐滅百濟的戰略目的是滅亡百濟，占有其土地、人民，而唐朝卻將百濟納入自己的統治並強迫羅、濟結盟，這引發新羅的不滿。在失去了共同敵人高句麗後，新羅、唐朝矛盾日益激化。為爭奪對百濟和高句麗故地的統治權，唐朝新羅戰爭爆發。
新羅一面扶植和利用高句麗殘餘勢力與唐朝對抗，一面大肆奪取百濟故地。670 年7月，新羅出動大軍，一舉攻陷熊津都督府八十二城。671 年1 月，新羅發兵攻打百濟，戰於熊津南，6月兵臨百濟加林城，與唐兵戰於石門，取得了“斬首五千三百級，獲百濟將軍二人，唐果毅六人”的戰績。由此新羅已控制了百濟故地大部分地區，逼近了位於熊津、泗沘等唐朝在百濟的統治中心地區。唐朝任命薛仁貴為雞林道總管，協助熊津都督府，同新羅作戰，最終失敗。新羅奪取熊津都督府，吞併百濟故地。
唐朝新羅戰爭結束後，676 年2 月，唐朝“徙安東都護府於遼東故城(今遼陽)，徙熊津都督府於建安故城，其百濟戶口先徙於徐、袞等州者，皆置於建安(今遼寧蓋州青石關古城) 。”
熊津都督府被迫從泗沘城遷至建安故城（今遼寧蓋州青石關古城），與隸屬安東都護府的建安州都督府合併。
677 年2 月，“以司農卿扶餘隆為熊津都督，封帶方王，亦遣歸安輯百濟餘眾，仍移安東都護府於新城以統之。時百濟荒殘，命隆寓居於高麗之境”。熊津都督扶餘隆懼怕新羅加害於己，不敢回故國，寄治高句麗舊地，後病死洛陽。到武則天時，百濟舊土己被新羅吞併殆盡，朝廷又命扶餘隆之孫扶餘敬為帶方郡王，徒有爵號，無地可守，其故土已納人了新羅境內。
686年，新羅在熊津州也設定同名的都督府，757年，改稱熊川。940年，高麗王朝改熊川為公州、設定都督府。983年，升格公州府。
