徐秋霞[中國科學院研究生院教授]

徐秋霞[中國科學院研究生院教授]
徐秋霞[中國科學院研究生院教授]
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徐秋霞,1942年出生,浙江省餘姚市人。中國科學院微電子研究所研究員,博士生導師,中國科學院研究生院教授。

基本信息

人物簡介

1967年12月-1978年1月,長春半導體廠,生產線負責人;

1978年02月至1983年10月,中國科學院半導體研究所,工藝負責人,助理研究員;

1983年11月至1985年03月,西德拂朗淮霍夫固體技術研究所,訪問學者;

1985年03月至1986年06月,中國科學院半導體研究所,工藝負責人,付研究員;

1986年06月至1990年12月,中國科學院微電子中心,院重大項目負責人,付研究員;

1991年01月至1996年04月,中國科學院微電子中心,工藝線主任,項目負責人,研究員;

1996年05月至1996年10月,美國加洲大學伯克萊分校,高級訪問學者;

1996年11月至2000年9月,中國科學院微電子中心,,九•五國家科技攻關專題負責人,研究員,博導;

2000年10月至2000年12月,先後赴日本、香港學術交流,高級訪問學者;

2000年12至現在,中國科學院微電子研究所,課題和項目負責人,研究員,博導。

研究方向

新一代積體電路器件與工藝技術基礎研究學科類別:

獲獎及榮譽

先後榮獲國家技術發明二等獎、國家科技進步二等獎和北京市及中科院科技進步一、二等獎等共8次。另外還獲中科院科技進步三等獎2次。獲優秀論文獎多次,其中一篇獲中國科協期刊第一屆優秀論文獎。

1992年開始享受國務院頒發的政府特殊津貼。曾先後被中國科學院評為院“七.五”重大科研任務先進工作者,中科院巾幗建功先進個人和中科院京區優秀共產黨員等。

代表論著

在國內外學術期刊和會議上發表論文110篇,近期代表性論文如下:

(1)QiuxiaXu,SeniorMember,IEEE,XiaofongDuan*,HaihuaLiu*,ZhengshengHan,TiancunYe,“Low-CostandHighlyManufacturableStrainedSiliconChannelTechniqueForStrongHoleMobilityEnhancementon35nmGateLengthpMOSFETs”,IEEE

TransactionElectronDevice,Vol.54,No.6,2007,pp.1394―1401

(2)QiuxiaXu,SeniorMember,IEEE,XiaofongDuan*,etal.,“HoleMobilityEnhancementofPMOSFETswithStrainChannelInducedbyGePre-amorphizationImplantationforSource/DrainExtension”,IEEEElectronDeviceLetter,Vol.27,No.3,2006,PP.179—181;

(3)徐秋霞錢鶴段曉峰*劉海華*王大海韓鄭生劉明陳寶欽李海歐,“具有應變溝道及EOT1.2nm高性能柵長22nmCMOS器件”,《半導體學報》,27卷,增刊,2006年,pp.86-93;

(4)H.H.Liu,X.F.Duan,Q.X.Xu,X.Y.Qi,H.O.Li,H.Qian,

“Nanoscalestrainanalysisofstrained–Simetal-oxide-semiconductorfieldeffecttransistorsbylargeangleconvergent-beamelectrondiffracttion”,AppliedPhysicsLetters,88,263513-1~263513-3,2006.

(5)殷華湘,徐秋霞,“體矽CMOSFinFET結構與特性研究”,<電子學報>,第33卷,第8期,2006,PP.1484—1486;

(6)QiuxiaXu,SeniorMember,IEEE,HeQian,ZhenshengHan,GangLin,MingLiu,BaoqingChen,ChuanfengZhu,DexinWu,“Characterizationof1.9nmand1.4nmUltra-thinGateOxynitridebyOxidationofNitrogen-ImplantedSiliconSubstrate”,IEEETransactionElectronDevice,Vol.51,No.1,2004,p.113-120.

(7)QiuxiaXu,SeniorMemberofIEEE,QianHe,MingLiu,YuyingZhao,BaoqingChen,ZhengshengHan,TianchunYe,DexinWu,“20nmPolysiliconGatePatterningandApplicationin36nmCMOSDevice”,JouralVaccumscienceandTechnologyB,Vol.21,No.6,Nov/Dec,2003,p.2352-2359.

承擔科研項目情況

(1)1978年至1983年作為主要技術骨幹,分別參與國家科技攻關項目NMOS4KDRAM、16KDRAM和64KDRAM研製。

(2)1983年底至1985年作為訪問學者,在西德佛朗霍夫固體技術研究所從事SOIMOS工藝及器件研究。

(3)1986年至1990年為項目負責人,承擔院重大科技項目“1-1.5μm新工藝和新器件結構的探索性研究”。

(4)1989年作為室技術副主任,副研究員,負責開發“VDMOS功率器件生產技術和系列產品開發”。

(5)1991年至1994年,研究員,室主任,負責包括雙極、CMOS、BiCMOS、VDMOS和感測器等多種技術的生產線的開發。

(6)1994年至1996年,研究員,攀登計畫課題負責人,負責”真空微電子器件研究”。

(7)1994年至1996年,研究員,作為主要技術骨幹,在國家八•五重大科技攻關項目中負責關鍵技術及集成技術研究。

(8)1996年5月—10月作為高級訪問學者與美國加州大學伯克萊分校ChenmingHu教授合作研究套用於0.2µmCMOS技術的矽化物工藝技術。

(9)1997年至2000年“九•五”期間,研究員,作為專題負責人,負責國家九•五重大科技攻關專題“0.1微米級CMOS器件結構及性能研究”;同時負責國家九•五重大科技攻關專題中0.18—0.25微米CMOS集成技術研究及其實用電路研製。

(10)2001年至2005年“十五”期間,研究員,為多課題負責人,負責“973”國家重點基礎研究課題“亞50納米器件的關鍵工藝技術基礎研究和器件製備”及“863”課題“0.09微米積體電路大生產工藝與可製造性技術研究”的子課題“0.07微米CMOS關鍵技術及器件研究”和3項國家自然科學基金項目:1)“0.1µm難熔金屬柵CMOS器件的研究”;2)“凹槽自對準雙柵MOS器件研究”;3)“納米級自對準雙柵MOS器件結構和工藝研究”。

(11)2006年-現在,研究員,為多課題負責人:負責“973”國家重點基礎研究課題“新一代集成技術基礎問題研究”和2項國家自然科學基金項目:1)“亞50納米金屬柵體矽多柵CMOS器件及關鍵技術研究”;2)“高k柵介質/雙金屬柵器件研究及製備”。還有一項院獎勵創新課題和一項所基金課題。

2011年中科院院士增選候選人

2011年8月,中國科學院公布了2011年中國科學院院士增選初步候選人名單。145位科技工作者入圍,其中數學物理學部21人,化學部23人,生命科學和醫學學部30人,地學部25人,信息技術科學部18人,技術科學部28人。
李建平[中科院大氣物理研究所研究員]
趙進才
侯雪龍
王椿鏞
賴遠明
彭練矛
岳建民
景益鵬
王二七
黃濤[中科院高能物理所研究員]
俞大鵬
鄭 平
鄭平[上海交通大學教授]
楊秀榮[中國科學院長春套用化學研究所研究員]
鄂維南
李應紅
李行偉
李東旭[國防科學技術大學教授]
張洪傑[中科院長春套用化學研究所研究員]
向濤
嚴純華
朱荻
劉維民
安立佳
莫毅明
葉友達
王漢功
黃維[南京郵電大學副校長]
梅宏
錢前
徐秋霞
劉忠范
郝躍
劉雲圻
徐濤[中科院生物物理研究所研究員]
趙繼宗[首都醫科大學教授]
李景鎮
李樹深
趙玉沛
田禾[華東理工大學教授]
武向平
方維海
尹浩
歐陽頎
李林[中科院上海生命科學研究院研究員]
張維岩
張學敏[軍事醫學科學院研究員]
龔健雅
張學軍[皮膚病學專家]
崔鵬[中科院水利部成都山地災害與環境研究所副所長]
張旭[同濟大學教授]
朱玉賢
朱軍[浙江大學教授]
王海燕[腎內科醫生]
王松靈
王岩[解放軍總醫院骨科專家]
韓布興
王順金
席振峰
楊樹峰
李獻華[中科院地質與地球物理研究研究員]
何滿潮
郭烈錦
徐宗本
陳永川
曹一家
張俐娜
滕錦光
雒建斌
翟婉明
楊學明
南策文
郭亞軍
徐安龍
張統一
吳學仁
張明傑
郝芳
侯增謙
曹希仁
金亞秋
鄭建華
黎志康
周成虎
應明生
韓家淮
葛均波
舒紅兵
孫世剛
魏炳波
崔福齋
陳孝平
李國英[水利部副部長]
張肇西
楊柏
盧天健
王成善
張書練
李亞棟
張富春
馬龍生
瞿佳
黃路生
王利祥
馬大為
于吉紅
王廣厚
陳曄光
陳曉非
陳發虎
沈保根
劉治國
葉志鎮
王會軍
萬衛星
潘建偉
舒德乾
焦念志
高福
袁亞湘
趙政國
郭華東
謝作偉
劉育
劉叢強
石廣玉
楊學軍
陳十一
康樂[中國科學院動物所研究員]
傅伯傑
張繼平
高山
哈木拉提·吾甫爾
田捷
王飛躍
黃潤秋
周忠和
陳駿
施一公

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