基本信息
《微機電系統》出版社:西北工業大學出版社;第1版(2011年3月1日)
叢書名:普通高等教育“十一五”國家級規劃教材
平裝:207頁
正文語種:簡體中文
開本:16
ISBN:9787561230305
條形碼:9787561230305
商品尺寸:25.6x18.2x1cm
商品重量:340g
ASIN:B005178ENC
內容簡介
《微機電系統》是在教育部對研究生推薦教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統領域最新的研究成果編著而成的。全書共分為六章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，典型微器件與微系統和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，《微機電系統》結合大量工藝實例，易於學生理解，有助於提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源於實驗室的課題研究實例，內容充實新穎。
《微機電系統》可以作為高年級本科生和研究生學習微機電系統的教材使用，還可以作為工程技術等專業人員的參考手冊。
編輯推薦
《微機電系統》為高等學校教材之一。
目錄
第1章緒論
1.1微機電系統的定義
1.2微機電系統的發展歷程
1.3微機電系統的主要研究內容
1.3.1基礎理論研究
1.3.2支撐技術研究
1.3.3套用技術研究
1.4微機電系統的國內外研究及產業化現狀
參考文獻
第2章微機電系統理論基礎
2.1尺度效應
2.1.1尺度效應對材料性能的影響
2.1.2尺度效應對黏附特性的影響
2.1.3尺度效應對靜電特性的影響
2.1.4尺度效應對流體系統的影響
2.1.5尺度效應對電學特性的影響
2.1.6尺度效應對熱傳導的影響
2.2材料基礎
2.2.1矽材料
2.2.2矽化合物
2.2.3壓電材料
2.2.4形狀記憶合金
2.2.5超磁致伸縮材料
2.2.6電流變體與磁流變體
2.2.7有機聚合物材料
2.3力學基礎
2.3.1微梁
2.3.2擠壓薄膜阻尼
2.3.3質量塊一彈簧一阻尼系統
參考文獻
第3章微機電系統製造基本工藝
3.1引言
3.2光刻
3.2.1光刻基本原理
3.2.2製版
3.2.3脫水烘
3.2.4塗膠
3.2.5軟烘
3.2.6對準
3.2.7曝光
3.2.8中烘
3.2.9顯影
3.2.10堅膜
3.2.11鏡檢
3.2.12去膠
3.3剝離
3.3.1單層膠氯苯處理法
3.3.2雙層膠法
3.3.3圖形反轉膠法
3.3.4其他方法
3.4濕法腐蝕
3.4.1矽的各向同性濕法腐蝕
3.4.2矽的各向異性濕法腐蝕
3.4.3二氧化矽的濕法腐蝕
3.4.4氮化矽的濕法腐蝕
3.4.5鋁的濕法腐蝕
3.4.6其他材料的濕法腐蝕
3.5乾法刻蝕
3.5.1等離子基礎
3.5.2電漿的產生
3.5.3濺射刻蝕
3.5.4等離子刻蝕
3.5.5反應離子刻蝕
3.5.6深度反應離子刻蝕
3.6氧化
3.6.1氧化設備
……
第4章微機電系統設計
第5章典型微機電器件及系統
第6章微機電系統測試
參考文獻
文摘
（4）諧振式微壓力感測器。諧振式壓力感測器輸出的是振動元件諧振頻率的變化。諧振式壓力感測器可分為兩種：
1）振動膜式。此時，諧振頻率的變化依賴於膜片的上下壓差，該類型諧振式微壓力感測器的諧振頻率不僅依賴於壓力，而且還依賴於膜片附近氣體的種類和溫度，進而造成氣體與諧振器的相互作用，並且化學物質和灰塵的吸附以及腐蝕作用都將改變諧振器的質量，並引起感測器的輸出漂移。
2）膜上振動結構式。壓差引起膜的撓曲，振動結構的諧振頻率隨膜片表面的應力變化而改變。在一定的量程範圍內，諧振頻率的改變與外加壓力之間有很好的線性關係。因此，通過檢測梁的諧振頻率，就可達到壓力檢測的目的。
諧振式壓力感測器的優點在於準數位訊號輸出，抗干擾能力強，分辨力和測量精度高，長期穩定性好。但是存在的問題在於製造工藝複雜，且一般情況下振動元件集成在撓曲膜上，諧振器和膜之間的耦合會引起許多問題。目前隨著製造技術的發展以及研究的不斷深入，其中一些問題已經得到很好的解決，諧振式壓力感測器已經成為當前研究的熱點之一。
（5）光纖微壓力感測器。光纖微壓力感測器是以光為載體、光纖為媒質，感知和傳輸外界壓力信號的一種新型感測器。光纖微壓力感測器可分為功能型和非功能型兩種。
1）功能型，是在外界壓力作用下對光纖自身的某些光學特性（強度、相位等）進行調製，調製區在光纖之內，光纖同時具有“感知”和“傳輸”兩種功能，因此又稱內調製光纖壓力感測器或感測型光纖壓力感測器。
2）非功能型，是藉助其他光學敏感元件來完成感測功能，調製區在光纖之外，光纖在系統中只起傳輸作用，因此稱之為外調製光纖壓力感測器或傳光型光纖壓力感測器。
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插圖《微機電系統》閱讀
①微電子技術的巨大成功在許多領域引發了一場微小型化革命，以加工微米／納米結構和系統為目的的微米／納米技術（Micro/NanoTechnology）在此背景下應運而生。一方面人們利用物理化學方法將原子和分子組裝起來，形成具有一定功能的微米／納米結構；另一方面人們利用精細加工手段加工出微米／納米級結構。前者導致了納米生物學、納米化學等邊緣學科的產生，後者則在小型機械製造領域開始了一場新的革命，導致了微機電系統（MicroElectroMechanicalSystems，MEMS）的誕生。②微電子機械系統是微電子技術的拓寬和延伸，它將微電子技術和精密機械加工技術相互融合，實現了微電子與機械融為一體的系統。
③MEMS技術的發展開闢了技術一個全新領域和產業。它們具有許多傳統感測器無法比擬的優點，因此在航空、航天、汽車、生物醫學、環境監控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領域中都有著十分廣闊的套用前景。
④MEMS技術及其產品正在迅速增長，預計到2000年，全世界MEMS的市場將達到120至140億美元，而帶來的與之相關的市場將達到1000億美元。
⑤MEMS將電子系統和外部世界有機地聯繫起來，它不僅可以感受運動、光、聲、熱、磁等自然界信號，並將這些信號轉換成電子系統可以認識的電信號，而且還可以通過電子系統控制這些信號，進而發出指令，控制執行部件完成所需要的操作。
⑥從廣義上講，MEMS是指集微型感測器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源於一體的完整微型機電系統。MEMS主要包含微型感測器、執行器和相應的處理電路三部分。
⑦MEMS技術的目標是通過系統的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統。它們不僅可以降低機電系統的成本，而且還可以完成許多大尺寸機電系統無法完成的任務。例如尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅細胞，3mm大小的能夠開動的小汽車，可以在磁場中飛行的象蝴蝶大小的飛機等。
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