概述
套用x線顯微分析器(X-raymicroanalyzer)探測細胞或組織的微小區域內元素成分的技術，在新型的掃描電鏡與透射電鏡均裝配有該裝置。可對樣品中的元素進行定性和定量分析，常用的為能譜分析法，根據所測譜峰以確定細胞局部區域內所含元素的性質及元素的相對含量。
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