過熱點

過熱點是一種冶金、電子工程的專業術語。

用深能級瞬態譜(DLTS)和液晶顯示等技術分析了軟特性矽功率器件體內"過熱點"的微觀結構及形成原因。表明:在高溫擴散工藝中,較大溫度梯度產生的局部熱應力場,造成重金屬雜質擇優澱積,使晶體缺陷電激活,是產生體內"過熱點"的根源。根據熱加速場發射效應解釋了"過熱點"對矽功率器件電學性能的影響。