儀器介紹
納米壓痕儀納米壓痕儀主要用於測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用於研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應力-應變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。可適用於有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質或硬質材料，包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等。
主要套用
半導體技術(鈍化層、鍍金屬、BondPads)；存儲材料(磁碟的保護層、磁碟基底上的磁性塗層、CD的保護層)；光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損塗層(TiN,TiC,DLC,切割工具)；藥理學(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(油漆塗料、橡膠、觸控螢幕、MEMS)等行業；
技術特點
1、完全符合ISO14577、ASTME2546
2、光學顯微鏡自動觀察
3、獨特的熱漂移控制技術
4、可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點、應力－應變、蠕變性能等力學數據。
5、適時測量載荷大小
6、採用獨立的載荷載入系統與高解析度的電容深度感測器
7、快速的壓電陶瓷驅動的載荷反饋系統
8、雙標準校正：熔融石英與藍寶石
技術參數
最大載入載荷：400mN
載荷解析度：30nN
可實現的最小載荷：1.5µN
位移解析度：0.003nm
可實現的自小位移：0.04nm
可實現的最大位移：250µm
熱飄逸<0.05nm/s(室溫條件下)
DMA模式：20HZ
物性測試儀器
| 物性測試儀器主要測量物體各種特性的儀器，物體的粘度、顆粒度，強度、硬度、色度、張力等儀器設備。用途：使用於實驗室及各種試驗場所，對物體或產品耐受性測試、特性測試。 |
