光切顯微鏡原理
儀器是采用光切法測量被測表面的微觀平面幅度 ，其工作原理，如下所示。狹縫被光源發出的光線照射後，通過物鏡發出一束光帶以傾斜45°方向照射在被測量的表面。具有齒狀的不平表面，被光亮的具有平直邊緣的狹縫像的亮帶照射後，表面的波峰在S點產生反射
波谷在S′點產生反射，通過觀測顯微鏡的物鏡，它們各成像在分劃板的a和a′點。在目鏡中觀察到的即為具有與被測表面一樣的齒狀亮帶，通過目鏡的分劃板與測微器測出a點至a′點之間的距離N，被測表面的微觀平面度h即可得出。
光切法顯微鏡使用方法
（一）光切法顯微鏡可用測微目鏡測出表面平面度平均高度值RZ，按國家標準，平面度平均高度值RZ與表面粗糙度級別的關係如表2所示。表 2
| 平面度平均高度值RZ/um | 相當於原精度等級 |
| 50-100 | 3 |
| 25-50 | 4 |
| 12.5-25 | 5 |
| 6.3-12.5 | 6 |
| 6.3 | 7 |
| 3.2 | 8 |
| 1.6 | 9 |
在測量時，所測量的表面範圍不少於五個波峰。
為使測量能正確迅速地進行，要求按表1內所列的數據選擇物鏡。
（二）被檢工作物的安放和顯微鏡調焦
1．被檢工件放在工作檯上時，測量表面之加工紋路應與顯微鏡光軸平面平行，即與狹縫像垂直。並使測量表面平行於工作檯平面（準確到1°）；對於圓柱形或錐形工件可放在工作檯上之V型塊（17）上。
2．選擇適當的物鏡插在滑板上，拆下物鏡時應先按下手柄（12），插入所需的物鏡後，放鬆手柄即可。
3．接通電源變壓器（23）和照明燈連線（22），調整粗調手輪和（3）微調手輪（4）調焦在測量平面上，使視場中出現最清晰的狹縫像和表面輪廓像。如果狹縫邊緣像（下面邊）與表面輪廓像不能同時調清晰時，可稍稍轉動手輪（20）。一般情況下，請不要轉動它。
4．旋鬆測微目鏡之固緊螺釘（19），轉動測微目鏡使其中十字線處於水平，並用螺釘（19）把它固定在這個位置上，此時目鏡內分劃板運動方向與狹縫像成45°角度。在這以後，就可以進行表面輪廓平面度的測量工作。
注意：為了正確地對圓柱體進行測量工作，必須同時調整工作檯和顯微鏡，使顯微鏡精確地調焦在圓柱頂端母線上。為此，需使工作檯垂直於圓柱體軸線移動（平行於加工條紋移動），必要時，對顯微鏡需重新調焦。
（三）輪廓平面度的測量
為測量表面輪廓平面度，需使狹縫平行的分划水平線與狹縫清晰邊緣（下面邊）最高點相切，見圖3。然後記上在目鏡分劃板與測微鼓上的讀數，再使十字線的水平線與狹縫隙清晰邊緣最低點相切，第二次記下分劃板與鼓輪的讀數，兩次讀數之差為：
a = —— (2) ，將式（2）中的N代入式（1）後得
h = ——（3），式中：a—分劃板的兩次讀數差。
為求出平面度平均高度值RZ，要求取被測輪廓的五個最高點（峰）和五個最低點（谷）之間的平均讀數a平均，再按式（3）計算出h，即平面度平均高度值RZ，再可按表2查出表面粗糙度等級。
（四）帶輔助物鏡的物鏡放大倍數
為了確定公式（3）中之物鏡放大倍數V，在進行輪廓平面測量時需對儀器備有0.01mm的標準刻度尺進行測量。首先將標準刻度尺放在儀器的工作檯上，調整標準刻度尺刻線清晰地成像在目鏡視場中，並且使其刻線和狹縫像垂直，分劃板十字線的運動方向與狹縫像平行。然後將分劃板十字線交點對準標準刻尺的一端，按測微目鏡的分劃板與測微鼓進行第一次讀數，見圖4。把十字線交點移到標準刻度尺的另一端，再以同法進行第二次讀數。此時，測微目鏡的兩次讀數差與標準刻度尺選擇段刻度數之比，就是顯微鏡物鏡的放大倍數V。
（五）表面顯微輪廓的攝像
為了能在光切法顯微鏡上對顯微輪廓進行攝像，儀器上可安裝數碼攝像裝置（需另購適配鏡和數位相機）。攝像時，根據上述（二）的方法，在目鏡中得出清晰的像後，轉動手輪（21）到攝像部位，然後參照數位相機的使用說明書進行操作、調焦，直至數位相機視屏中圖像輪廓清晰，線條分明。此時h =
式中：C—相片上平面度成像的高度
（可直接從相片上測量出來）；
M—系統的總放大倍數
（通過儀器對標準刻度尺攝像，在相片上直接測量標準刻度成像，以測得成像數值與標準刻度尺選擇段刻度數之比，即為放大倍數M）。
（六）測量平面度方法舉例
1．物鏡放大倍數的確定:假定標準刻度尺選擇線段為80格，即0.8mm。在測微目鏡中對此刻線段的讀數值為6.4mm。儀器上安裝的物鏡組為14×N.A.0.20，此時物鏡的放大倍數V=
2．測量工件表面粗糙度:根據上述（三）的方法，從測微目鏡中得出五個最高點和五個最低點的讀數值，例：ah1=4.800mm，ah3=4.750mm，ah5=4.900mm， ah7=4.850mm， ah9=4.900mm， ah2=4.695mm,；ah4=4.655mm，ah6=4.790mm,，ah8=4.740mm， ah10=4.800mm，可求得
=
3．根據V與a，求得平面度平均高度RZ=
4．根據表2查得表面平面度平均高度值RZ為6.3-12.5um（相當於原光潔度6級）
光切法顯微鏡維修和保養
光切法顯微鏡系精密光學儀器，為維持儀器的原有精度和延長儀器的使用壽命，保證測量工作的順利進行，故對儀器必須細心的保養和使用。1.儀器使用和安放地點須避免灰塵、潮濕、過冷、過熱及酸鹼性的氣體。
2.儀器使用環境要求：室內溫度15-25，濕度45%-85%。
3． 平時儀器不用時，應有保護罩蓋住，並放置乾燥劑。
4．透鏡表面若有灰塵，應先用軟毛筆拭去，方可進行拭擦。
5．透鏡的拭擦採用脫脂的棉花、紗布或透鏡紙，透鏡表面若有油漬時，可用脫指棉沾以少許酒精和混合液（或）輕輕擦拭。
6．儀器立柱及未塗漆的其它外表面，要塗以薄層潤滑油脂，對機械部分所附油脂，因日久硬化或灰塵積累，必須清洗，然後再擦上少許潤滑油脂。
7．儀器出廠前皆經過慎重校驗，為了保持原有精度，除允許移動的部分外，其餘部分如必須拆卸修理，應送有關修理部門或專責人員指導下方可進行
