還負責完成了中科院“八五”重大科研項目的“0.7—0.8微光i線投影光刻曝光系統”和國家科技攻關“0.8—1微米分步重複投影光刻機”研製。獲得中國科學院科技進步三等獎2項、二等獎2項、一等獎2項和國家科技進步三等獎1項。在國內外刊物上發表論文六十多篇。申請了“分辨力自增掩模板”等專利14項。帶研究生若干名。並正承擔著中科院“九五”重大科研項止“微電子專用設備技術研究”的關鍵單元技術研究,同時負責承擔國家處然科學基金研究課題,重點研究提高超大規模積體電路和光刻分辨力的波前工程熱點技術。
陳姓名人盤點(一)
盤點陳姓當中一些在各行各業有著突出成績的人物,包括教師,研究員,科研人員以及機關幹部等名人。 |