.無水氟矽酸鹽為無色氣體，化學性質不穩定，常溫下易分解為四氟化矽和氟化氫。水溶液顯強酸性，一般能製得60％的水溶液，酸的強度跟硫酸相當、濃溶液冷卻，有無色含水氟矽酸析出。其水溶液為無色透明的發煙液體，有刺激性氣味;蒸汽壓 ;沸點 108.5℃;溶解性：溶於水;密度：相對密度(水=1)1.32(約);穩定性：穩定;危險標記 20(酸性腐蝕品);主要用途：製取氟矽酸鹽及四氟化矽的原料，由四氟化矽跟氟化氫直接反應製得，SiCl4+6HF=H2SiF6+4HCl，也可將二氧化矽溶解於氫氟酸中製得。也套用於金屬電鍍、木材防腐，具有消毒性能，可作啤酒釀造中的消毒劑。
危害
①健康危害
侵入途徑：吸入、食入、經皮吸收。
健康危害：皮膚直接接觸，引起發紅，局部有燒灼感，重者有潰瘍形成。對機體的作用似氫氟酸，但較弱。
②毒理學資料及環境行為
危險特性：受熱分解放出有毒的氟化物氣體。具有較強的腐蝕性。
燃燒(分解)產物：氟化氫。:
處理
①泄漏應急處理
疏散泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，建議應急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學防護服。不要直接接觸泄漏物，在確保全全情況下堵漏。用沙土或其它不燃性吸附劑混合吸收，然後收集運至廢物處理場所處置。也可以用大量水沖洗，經稀釋的洗水放入廢水系統。如大量泄漏，利用圍堤收容，然後收集、轉移、回收或無害處理後廢棄。
②防護措施
呼吸系統防護：可能接觸其蒸氣或煙霧時，必須佩戴防毒面具或供氣式頭盔。緊急事態搶救或逃生時，建議佩帶自給式呼吸器。
眼睛防護：戴化學安全防護眼鏡。
防護服：穿工作服(防腐材料製作)。手防護：戴橡皮手套。
其它：工作後，淋浴更衣。單獨存放被毒物污染的衣服，洗後再用。保持良好的衛生習慣。
③急救措施
皮膚接觸：脫去污染的衣著，立即用水沖洗至少15分鐘。若有灼傷，就醫治療。
眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動清水或生理鹽水沖洗至少15分鐘。
吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。
食入：誤服者給飲牛奶或蛋清。立即就醫。
滅火方法：二氧化碳、砂土、乾粉、泡沫。
