xps[X射線光電子能譜分析(XPS)]

xps[X射線光電子能譜分析(XPS)]

X射線光電子能譜分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射線去輻射樣品,使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子,可以測量光電子的能量,以光電子的動能為橫坐標,相對強度(脈衝/s)為縱坐標可做出光電子能譜圖,從而獲得待測物組成。

基本信息

歷史沿革

1887年,海因里希·魯道夫·赫茲發現了光電效應,1905年,愛因斯坦解釋了該現象(並為此獲得了1921年的諾貝爾物理學獎)。兩年後的1907年,P.D. Innes用倫琴管、亥姆霍茲線圈、磁場半球(電子能量分析儀)和照相平版做實驗來記錄寬頻發射電子和速度的函式關係,他的實驗事實上記錄了人類第一條X射線光電子能譜。其他研究者如亨利·莫塞萊、羅林遜和羅賓遜等人則分別獨立進行了多項實驗,試圖研究這些寬頻所包含的細節內容。XPS(X-ray photoelectron spectroscopy(XPS))的研究由於戰爭而中止,第二次世界大戰後瑞典物理學家凱·西格巴恩和他在烏普薩拉的研究小組在研發XPS設備中獲得了多項重大進展,並於1954年獲得了氯化鈉的首條高能高分辨X射線光電子能譜,顯示了XPS技術的強大潛力。1967年之後的幾年間,西格巴恩就XPS技術發表了一系列學術成果,使XPS的套用被世人所公認。在與西格巴恩的合作下,美國惠普公司於1969年製造了世界上首台商業單色X射線光電子能譜儀。1981年西格巴恩獲得諾貝爾物理學獎,以表彰他將XPS發展為一個重要分析技術所作出的傑出貢獻。X射線光電子能譜因對化學分析最有用,因此被稱為化學分析用電子能譜(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。最近英國VG公司製成可成像的X射線光電子譜儀,稱為“ESCASCOPE”,除了可以得到ES-CA譜外,還可得到ESCA像,其空間解析度可達到10μm,被認為是表面分析技術的一項重要突破。

物理原理

XPS的原理是用X射線去輻射樣品,使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子。可以測量光電子的能量,以光電子的動能/束縛能 binding energy,(Eb=hv光能量-Ek動能-W功函式)為橫坐標,相對強度(脈衝/s)為縱坐標可做出光電子能譜圖。從而獲得試樣有關信息。

系統組件

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一台商業製造的XPS系統的主要組件包括:

•X射線源

•超高真空不鏽鋼艙室及超高真空泵

•電子收集透鏡

•電子能量分析儀

•μ合金磁場禁止

•電子探測系統

•適度真空的樣品艙室

•樣品支架

•樣品台

•樣品台操控裝置

主要用途

XPS被廣泛套用於分析無機化合物、合金、半導體、聚合物、元素、催化劑、玻璃、陶瓷、染料、紙、墨水、木材、化妝品、牙齒、骨骼、移植物、生物材料、油脂、膠水等。

XPS可以用來測量:

1,元素的定性分析。可以根據能譜圖中出現的特徵譜線的位置鑑定除H、He以外的所有元素。

2,元素的定量分析。根據能譜圖中光電子譜線強度(光電子峰的面積)反應原子的含量或相對濃度。

3,固體表面分析。包括表面的化學組成或元素組成,原子價態,表面能態分布,測定表面電子的電子云分布和能級結構等。

4,化合物的結構。可以對內層電子結合能的化學位移精確測量,提供化學鍵和電荷分布方面的信息。

5,分子生物學中的套用。Ex:利用XPS鑑定維生素B12中的少量的Co。

套用舉例

1.確定金屬氧化物表面膜中金屬原子的氧化狀態;

2.鑑別表面石墨或碳化物的碳;

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