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MEMS
MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。它是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，...
簡介 技術條件 組成部分 影響 套用領域 -
表面矽MEMS加工技術
表面矽MEMS加工技術是在積體電路平面工藝基礎上發展起來的一種MEMS工藝技術。它利用矽平面上不同材料的順序澱積和選擇腐蝕來形成各種微結構。
基本思路 關鍵工藝技術 工藝集成 工藝發展趨勢 -
MEMS集成設計技術及套用
內容簡介書名MEMS集成設計技術及套用書號...）設計技術與設計工具基礎之上，對MEMS設計的關鍵技術——系統級設計技術...設計技術1.3MEMS集成設計工具現狀與發展趨勢1.4國外主要MEMS集成...
內容簡介 目錄 -
MEMS開關
MEMS開關就是MEMS技術的具體套用。顧名思義，開關就是來控制電路通斷狀況的，高效、快速反應、準確、重複使用頻率、高可靠性是現代電路系統對開關的特殊要求。
產生 比較 技術 特點 發展及現狀 -
CMOS MEMS技術與套用
《CMOS MEMS技術與套用》是2007年東南大學出版社出版的圖書，作者是（美）布蘭德。該書主要介紹如何將MEMS與CMOS電路集成的方法和套用。
內容簡介 書籍目錄 -
MEMS/MOEMS封裝技術-概念·設計·材料及工藝
《MEMS/MOEMS封裝技術:概念、設計、材料及工藝》主要介紹MEMS/MOEMS封裝技術的最新進展，以及工藝的共性、個性和可靠性。 針對高成本的封裝...
內容介紹 -
MEMS資訊網
2010年1月 MEMS資訊網與In MEMS資訊網成為“2011
定義 網站宗旨 網站主要欄目 網站發展歷程 -
MEMS感測器
MEMS感測器即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經...
套用 研究現狀 分類 總結 -
MEMS交流網
MEMS交流網，是一個圍繞MEMS（微機電系統），涵蓋的MEMS技術、MEMS感測器、MEMS陀螺儀、MEMS招聘、射頻MEMS、光學MEMS、微執行器...
定義 網站宗旨 網站文化 網站主要欄目 網站發展歷史 -
MEMS鏡頭
採用微機電系統來實現對焦成像的鏡頭組件。採用MEMS技術的其他類別感測器卻已經套用到我們生活中的各個領域，經常使用到的麥克風、陀螺儀、硬碟驅動頭，以及不...
特點 技術趨勢
