電子級四氯化矽

電子級四氯化矽，四氯化矽用作半導體矽外延的矽源。由於它的沸點高，可作為優良的低溫矽澱積的源材料。

性質：無色、有腐蝕性、不可燃液體，有令人窒息的臭味。曝露於濕空氣時形成濃煙，迅速水解放出氯化氫。熔點-70.0℃。液體密度1483kg/m3(21.1℃)。TLV(按HCl)5×10-6。

其製法是以工業級四氯化矽為原料，採用精餾工藝，或再與吸附工藝相結合進行提純。