詞語概念
基本信息
詞目：溝渠
基本解釋
1. [moat]∶ 護城河
2. [irrgation canals and ditches]∶排水道
引證解釋
1. 為防守或灌溉、排水而挖的水道。
《 墨子·節葬下》：“若苟寡，是城郭溝渠者寡也。” 宋 陸游 《 老學庵筆記》卷六：“京師溝渠極深廣，亡命多匿其中。” 郭沫若 《蘇聯紀行·六月十七日》：“機場有溝渠，是人工挖掘的。”
2. 借指 荒野。
漢 揚雄 《 解嘲》：“ 當塗者升青雲，失路者委溝渠。” 明 王錂《 尋親記· 剖面》：“我自思家貧貌美，陷我夫身喪溝渠。”
種類
溝渠可以大略地分成兩種。一種是平常在路邊隨處可見的雨水下水道，另一種是將住家以及工廠的廢水，以密閉管道的方式，輸送到污水處理廠的污水下水道。目前雨水下水道的建設大致上已經完成，而污水下水道的建設依舊有賴政府和人民的互相配合，共同將污水下水道的連線普及化。
製造方法
一種淺溝渠隔離結構的製造方法，於一基底上依序形成墊氧化層、罩幕層、介電抗反射塗布層與頂蓋氧化層，然後於基底中形成一溝渠。接著，再於溝渠表面形成襯氧化層，且於基底上形成絕緣層並填滿溝渠。隨後以罩幕層作為研磨終點，以使用光學終點偵測系統作終點偵測的化學機械研磨製作工藝去除罩幕層上的絕緣層、介電抗反射塗布層與頂蓋氧化層，其中罩幕層的厚度控制在第一固定範圍，且介電抗反射塗布層的厚度控制在第二固定範圍，使得光學終點偵測系統所使用的光源可以產生具有最大的反射光信號。然後再去除罩幕層與墊氧化層。
一種淺溝渠隔離結構的製造方法，其特徵在於：其步驟包括：提供一基底；於該基底上形成一墊氧化層；於該墊氧化層上形成一罩幕層；於該罩幕層上形成一介電抗反射塗布層；於該介電抗反射塗布層上形成一頂蓋氧化層；於該頂蓋氧化層上形成一圖案化光阻層；以該圖案化光阻層為罩幕，對該頂蓋氧化層、該介電抗反射塗布層、該罩幕層與該墊氧化層進行蝕刻，並持續蝕刻至該基底內，以形成一溝渠；去除該圖案化光阻層；於該溝渠的表面形成一襯氧化層；於該基底上形成一絕緣層並填滿該溝渠；以該罩幕層作為研磨終點，利用一化學機械研磨製作工藝去除該罩幕層上的部分該絕緣層、該介電抗反射塗布層與該頂蓋氧化層，其中，該化學機械研磨製作工藝中使用一光學終點偵測系統作終點偵測；去除該罩幕層；移除該墊氧化層，其中，該罩幕層的厚度被控制在一第一固定範圍，且該介電抗反射塗布層的厚度被控制在一第二固定範圍，使得該光學終點偵測系統所使用的一光源可以產生具有最大的反射光信號。
