氦檢

氦檢，主要定義為對被檢工件抽空後充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦質譜檢漏儀檢漏口相接。

對被檢工件抽空後充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦質譜檢漏儀檢漏口相接。若被檢工件有漏，則漏入真空箱的氦氣可通過氦質譜檢漏儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前後分別實現氦氣的充注和回收。