簡介
凸緣真空密封在真空系統需要經常拆卸的地方，套用可拆密封連線，這種連線在密封性能和機械強度上雖然不如永久連線，但是真空系統某些地方是需要經常驚醒拆卸的，因此這種連線用得較多。其結構有如下幾種。
撓性連線
撓性連線件主要有三種，即真空橡膠管、塑膠管和波紋管。真空橡膠管是用橡膠製成的一種厚壁管，多用於口徑小於50mm的機械真空泵入口處，也可以連線玻璃管、金屬管及其零件。真空橡膠管連線的接頭種類很多，最簡單的方法是把插入橡膠管端部的接頭做成圖7所示的台階形。
用於靜連線的彈性體密封墊圈
由於彈性體具有彈性好、受壓時體積不變，可堵塞漏氣路徑等一系列特點，因此把氯丁橡膠、丁腈橡膠、氟橡膠、矽橡膠、聚四氯乙烯等彈性體製成圓形截面或矩形截面的環，然後將其夾在兩個連線件之間並壓縮，如圖8所示，即可實現真空靜連線密封的目的。這種彈性體墊圈的密封性能主要取決於彈性體和被連線件之間接觸面的粗糙度及彈性體本身的透氣性、放氣率和蒸氣壓等因素。為了消除這些因素對密封性能的影響，接觸部位金屬表面的粗糙度至少要求加工到3.2/Δ，而且應儘量設計得使彈性體暴露在真空側的表面最少。圖9給出了墊圈密封的各種形式。其中圓弧形槽和梯形槽加工較為困難。最後一種由於完全沒有凸緣和凹槽，兩個連接件都是平面，彈性體被定位墊圈所定位，故加工容易，裝配迅速，互換性也好。根據這種結構製成的快速拆卸真空密封法蘭，已制定了國際標準，其通徑有10mm、16mm、25mm、40mm等四種規格。其結構如圖10所示。圖中a為夾具夾緊式，b為袋狀螺母擰緊式，前者是把兩個密封法蘭作成平面而取代了密封槽從而簡化了密封滿的加工。在緊固時為防止O型環串動可採用O形環座。快速拆卸法蘭的特點是拆卸容易，迅速可靠。
用於靜連線的金屬密封墊圈
為了適應超高真空系統進行高溫烘烤的需要，在超高真空管道連線處應採用金屬密封墊圈，其材料大都是具有延展性好、蒸氣壓低的一些金屬及合金（如銦、鋁、銅、銀、金、蒙耐爾合金等）。金屬密封墊圈與彈性體墊圈相比較雖然具有放氣量小、滲透率低、能耐高溫烘烤等優點，但是密封時需要有較大的壓緊力和較嚴格的調整技術，而且重複使用次數也較少。
與彈性體O形圈相類似的金屬密封墊圈是絲形圈。如圖11所示，把絲形圈夾壓在兩個法蘭之間即可達到密封的目的。圖中（a）適用於銦絲，因為它在小的壓力下就可變形，但銦的熔點較低，不能烘烤到高溫。鋁絲可烘烤到400oC，但需要較大夾緊壓力。圖中（b）適用於可重複烘烤到450oC溫度也不漏氣的金絲密封墊圈。金絲在作為墊圈使用前必須退火以增大延展性。銅絲墊圈較少使用，因為它與不鏽鋼法蘭的膨脹係數差別太大，在熱循環中會漏氣。
金屬密封墊圈密封的最經常採用的形式是剪下一個矩形截面的銅環。圖12就是利用這種原理的四種密封形式。圖中a為交錯階形密封；b為重疊階形密封。這類密封墊圈一般只用一次。圖中c是矩形截面金屬墊圈密封的另一種形式。密封作用形成在刀緣兩邊，調整壓力可改變卡入深度。用鈍的刀口是為了保證法蘭與墊圈的接觸良好。圖中d是錐形刀緣密封。c、d兩種密封形式均可重複使用幾次。
