超精密加工方法

超精密加工方法是一種精度極高的綜合性的現代加工方法。所謂精密加工，其加工精度可達10納米(0.01微米)，表面粗糙度達1納米，加工的最小尺寸為1微米。這是從20世紀60年代開始發展起來的一個高新技術群。

其可大致分成兩類：①超精度切削加工，如超精密車削、鏡面磨削、研磨等。②超精密特種加工，主要有機械化學拋光、電子束曝射、雷射束加工、離子濺射和離子注入、金屬蒸鍍及分子束外延等。目前已廣泛套用於精密儀器製造、電子、航空、航天等工業中。這些技術與其他高新技術相互推動，共同發展，尤其它們的綜合開發，越來越受到人們的重視。