精密測試技術及儀器國家重點實驗室清華大學實驗區是以清華大學精密儀器系光學儀器專業即光電工程所為中心實驗室、結合其它教研室組合而成。目前有一個中心實驗室、四個分室：光電工程中心實驗室、微細工程分室、感測器分室、精密測試分室、微型機械分室。
精密測試技術及儀器國家重點實驗室清華大學實驗區是"儀器科學與技術"和"光學工程"兩個一級學科的實驗和教學基地。這兩個一級學科始創於1958年底，當時叫"精密儀器"和"光學儀器"專業。兩學科1981年被首批確定為博士點，1988年評為重點學科,同年被批准設立博士後流動站.
清華大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室目前有固定人員46人，其中工程院院士一名，教授26人，副教授19人.
過去五年中，精密測試技術及儀器國家重點實驗室清華大學實驗區共承擔科學研究120餘項，其中26項國家自然科學基金，8項"863"高技術,2項 "973" 國家重大基礎研究中承擔中的4個課題，科研經費600餘萬，獲國家級獎勵4項，部級獎勵12項（另有教育部科技進步獎兩項）。申請專利49餘項，獲發明專利權13餘項，實用新型10項。出版（譯）著作5本。發表在國內外刊物上、可在信息網上檢索論文分別為80餘篇和280餘篇，其中被SCI收錄 80 余篇，國際國內會議240餘篇，並與美、芬，日、德、加、英、法、韓等國開展了廣泛的國際學術交流，得到了芬蘭、日本、德國、香港等國家和地區多項科研項目的經費資助，獲得了良好的聲譽。
研究方向：
(1) 雷射及光電測試技術(2) 感測及測量信息技術
(3) 納米測試技術
(4) 微型光機電及光學集成技術
(5) 製造質量控制技術
(6) 光存儲技術（新生長點）
