王敏銳

攻讀博士期間主要從事壓電式微納機電系統技術研究，是國家自然科學基金重點基金“適用於SOC的聲、熱、力感測器系統”，國家自然科學基金項目“甲醛氣體感測器研製及特性研究”的主要參與人。 在從事半導體製程中的濕製程工藝、氧化擴散、光刻、濺射及刻蝕方面，壓電薄膜製備及其微納感測器/執行器設計製備方面，已經具有超過5年的研究經驗。 目前就職於蘇州納米所納米加工平台，主要從事大功率LED散熱技術、壓電微納米光機電系統的研究。

中國科學院副研究員
2006年12月畢業於大連理工大學機械工程學院，獲機械電子工程專業博士學位。攻讀博士期間主要從事壓電式微納機電系統技術研究，是國家自然科學基金重點基金“適用於SOC的聲、熱、力感測器系統”，國家自然科學基金項目“甲醛氣體感測器研製及特性研究”的主要參與人。發表壓電微感測器/執行器、半導體製程工藝方面論文8篇（SCI/EI收錄5篇）。在從事半導體製程中的濕製程工藝、氧化擴散、光刻、濺射及刻蝕方面，壓電薄膜製備及其微納感測器/執行器設計製備方面，已經具有超過5年的研究經驗。目前就職於蘇州納米所納米加工平台，主要從事大功率LED散熱技術、壓電微納米光機電系統的研究。