基本概念
平面度"平面度" 英文對照
flatness; planeness;
"平面度" 在學術文獻中的解釋
平面度是指基片具有的巨觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區域。平面度屬於形位誤差中的形狀誤差。
對於Φ10mm大小的寶石基片上有零點幾個微米的不平度。
與"平面度" 相關的學術圖片
圖為傳統平台平面度檢測原理示意圖
平面度測量
平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。
平面度平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面
度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
平面度測量平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。
光波干涉法常利用平晶進行，圖為測量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這說明被檢驗表面是平的，但與光學平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗表面是球形表面。將條紋數目乘以所用光束波長的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說明被檢驗表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測量高光潔表面，測量面積也較小，但測量精確度很高。平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。
光波干涉法常利用平晶進行，圖為測量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這說明被檢驗表面是平的，但與光學平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗表面是球形表面。將條紋數目乘以所用光束波長的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說明被檢驗表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測量高光潔表面，測量面積也較小，但測量精確度很高。
2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面，實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點調整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。
3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液面構成，然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：光束平面法是採用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。
平面度測量5、雷射平面度測量儀：雷射平面度測量儀用於測量大型平面的平面度誤差。
6、利用數據採集儀連線百分表測量平面度誤差的方法。 。
測量儀器：偏擺儀、百分表、數據採集儀。
測量原理：數據採集儀可從百分表中實時讀取數據，並進行平面度誤差的計算與分析，平面度誤差計算工式已嵌入我們的數據採集儀軟體中，完全不需要人工去計算繁瑣的數據，可以大大提高測量的準確率。
數據採集儀連線百分表測量平面度誤差示意圖優勢介紹
1）無需人工用肉眼去讀數，可以減少由於人工讀數產生的誤差；
2）無需人工去處理數據，數據採集儀會自動計算出平面度誤差值。
3）測量結果報警，一旦測量結果不在平面度公差帶時，數據採集儀就會自動報警。
