山西省微米納米工程技術研究中心

目前主要進行微米納米技術、微系統集成技術以及智慧型平台技術等領域的研究。 目前承擔有國家973、863、國家傑出青年基金、全國優秀博士基金、國家自然科學基金等幾十項國家級省部級課題，主要進行微/納米尺度下力電耦合、器件設計與仿真和存儲測試等一系列理論問題和微系統集成、抗高過載以及“三微”等技術的研究。 中心所研製的“新型三軸慣性加速度感測器與實時數據壓縮儲存動態測試系統”獲得2003年度國家發明二等獎；科研經費呈逐年上升趨勢，2005年年度科研經費已經達到2500萬元。

山西省微米納米工程技術研究中心2004年依託中北大學組建。目前

主要進行微米納米技術、微系統集成技術以及智慧型平台技術等領域的研究。目前承擔有國家973、863、國家傑出青年基金、全國優秀博士基金、國家自然科學基金等幾十項國家級省部級課題，主要進行微/納米尺度下力電耦合、器件設計與仿真和存儲測試等一系列理論問題和微系統集成、抗高過載以及“三微”等技術的研究。中心現有副教授以上研究人員13名，博士6名、歸國留學人員5名，與包括美國、日本、希臘等在內的十餘個國家的知名研究所和大學建立有長期合作關係。近年來，科研經費累計超過6千萬，增收節支3億多元，先後獲得國家發明二等獎1項，省部級一、二等獎10餘項，出版專著5部，發表論文200餘篇，其中100多篇被EI、SCI收錄。
中心最初主要從事動態測試和微型測試系統方面的研究工作，科研項目服務於兵器工業總公司所屬軍工企業，現依託於“儀器科學與動態測試”教育部重點實驗室，在內部實施人才最佳化組合，並不斷從國內外引進優秀人才，逐步形成一個創新團體。中心創立了存儲測試系統理論與技術，在突破關鍵技術的基礎上，將其廣泛地套用於航天、航空、兵器、船舶和核工業領域，並且通過進一步探索，開拓了新的研究領域，逐步開展並形成了在微納機電系統（M/NEMS）領域內的強化基礎、突出套用的研究特色；此外，中心根據學科發展、國家需求和國內外發展的現狀，深化了空間飛行載體關鍵測試技術研究，並逐步開展深空探測相關技術和空間探測器微小型化技術的研究。中心所研製的“新型三軸慣性加速度感測器與實時數據壓縮儲存動態測試系統”獲得2003年度國家發明二等獎；科研經費呈逐年上升趨勢，2005年年度科研經費已經達到2500萬元。目前，擁有的儀器設備資產總值約合5000萬元人民幣。