X射線波譜儀

X射線波譜儀

X射線波譜儀,構造原理與X射線螢光譜儀基本相同,只是用電子而不是用X射線作為激發源。

X射線波譜儀的特點是解析度高,通常為5—10eV,且可在室溫下工作,因此分析的精度高而檢測極限低。此外,根據布拉格定理2dsinθ=λ,採用晶面間距d大的分光晶體,可以分析標識X射線波長為λ的硼、碳、氮、氧等輕元素。但是X射線波譜儀也有其局限性,它的分光晶體接受X射線的立體角小,X射線的利用率低;此外,試樣要求象金相試樣那樣表面平正光潔,不能分析凸凹不平的試樣。

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