黃光[光刻工藝]

半導體行業里,將矽片等晶片進行塗膠、軟烘、曝光、顯影、硬烤,使其光刻出一定圖形,這種工藝也叫黃光。是精細電路的製程工藝之一。

半導體行業里,將矽片等晶片進行塗膠、軟烘、曝光、顯影、硬烤,使其光刻出一定圖形,這種工藝也叫黃光。是精細電路的製程工藝之一。

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