電子對-內部結構模型圖 電子直線加速器基本結構：電子直線加速器可根據輻照工藝的要求作成立式或臥式。
加速器電子槍工作在脈衝狀態，根據需要設計注入加速管的電子束能量、脈衝流強、束流直徑和發散角等。一般採用皮爾斯型電子槍，並採用在較低溫度下電子發射電流密度較大的六硼化鑭作陰極材料。加速管由聚束段和加速段兩部分組成。加速管採用恆溫水冷卻措施，使溫度變化不大於1度，以確保電子束運行參數穩定。聚焦線圈根據理論計算中的束包絡聚焦要求設定。微波功率源，可以採用磁控管或速調管，根據需要，對電子進行加速，提供能量。磁控管或速調管所需的脈衝高壓由脈衝調製器供給。脈衝調製器一般採用軟管線性脈衝調製器，由直流高壓電源向充電變壓器、脈衝形成線的電容器進行諧振充電。高功率脈衝閘流管為放電開關，脈衝形成線經閘流管、脈衝變壓器初級繞組組成放電迴路，在脈衝變壓器初級形成高壓，在變壓器次級輸出脈衝電高壓。在電壓穩定度要求較高時，調製器需採用脈衝電壓穩定裝置。磁控管或速調管輸出的微波功率經波導、定向耦合器、環流器等組成的微波傳輸系統，通過陶瓷窗進入加速管，對於系統中的剩餘功率，由另配的吸收負載所吸收。
性能與特點：電子直線加速器的最高電子能量已超過幾萬MeV，但由於工業輻射安全的限制，工業輻照電子直線加速器的最高能量定為10MeV。此外，直線加速器的注入和引出效率都很高；束流強度取決於注入器的入射強度和高頻電源的荷載能力。一般受高頻源的制約只能脈衝工作，脈衝電流可達幾百mA，平均流強為1mA至十幾mA，即束流功率為1kW到十幾kW。
