離子探針微量分析儀

詞目：離子探針微量分析儀 英文：ion 釋文：將質譜儀與離子顯微鏡的性能加以組合的儀器。

學科：岩礦分析與鑑定
詞目：離子探針微量分析儀
英文：ion-probe microanalyzer
釋文：將質譜儀與離子顯微鏡的性能加以組合的儀器。它可提供試樣表面1微米內的組分分布圖像。以10千伏電壓所加速的離子束對測試樣進行轟擊，從試樣表面濺射出粒子。這些二次離子被加速，並由靜電透鏡聚焦成束，然後成像，調整質譜儀可以依次得到從試樣表面發射出的不同離子的分布圖像。離子探針微量分析儀是一種新型的微區微量分析儀器，它的優點在於可進行同位素和原子序數很低的各種元素的分析；對一般元素的檢出限為10^-15～10^-18克，套用於樣品三維的微區微量分析。