輻射計量單位

輻射計量單位，輻射就是指高能粒子流（射線）。每單位物質質量所接受的輻射能量稱為劑量。

輻射就是指高能粒子流（射線）。每單位物質質量所接受的輻射能量稱為劑量，常用拉德（rad）或者戈瑞（Gray）作為計量單位，它們與其它常用能量單位之間的關係為：1rad = 100erg/g = 6.24×1013eV/g，1Gray = 1J/kg = 100rad。
顯然，在輻射強度一定的情況下，所接受到的輻射劑量與材料本身的原子密度有關；密度大者，接受的劑量大，密度小者，接受的劑量小。例如，對於常見的幾種微電子材料，其劑量之間的關係為：1rad（Si）= 0.58rad（SiO2）= 0.94rad（GaAs）。
整個材料或者器件所接受到的輻射劑量的總和，即稱為總劑量（TID）。
此外，在半導體器件和IC的抗輻射技術中，有時還會用到所謂輻射的通量和積分通量的概念。通量就是指單位時間、照射到單位面積上的高能粒子的數目，單位是[粒子數/(cm2-s)]；積分通量就是指在整個作用時間內、照射到單位面積上的高能粒子的數目，單位是[粒子數/cm2]。