基本內容
別 名：砷化三氫；三氫化砷 英文名：arsine 分子式：AsH3
物化性質： 砷烷在室溫和大氣壓下是一種無色、劇毒、可燃氣體，有大蒜氣味．與空氣混合形成可燃混合氣。砷烷微溶於水和有機溶劑，易與高錳酸鉀、溴和次氯酸鈉等起反應生成砷的化合物。砷烷在室溫下穩定，在230-240℃下開始分解。砷烷是一種溶血性毒物，可中毒神經。 用 途： 砷烷用於半導體工業中外延矽的“N”型摻雜，矽中“N”型擴散，離子注入，生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導體。 工業上生產的砷烷用於有機合成。
包裝及貯運：包裝標誌：有毒氣體。副標誌：易燃氣體。砷烷無腐蝕性，因此大部分市售材料均可用。但是，由於砷烷主要用於半導體工業，因此推薦採用不鏽鋼材質。在高純系統中要用不鏽鋼減壓器。 由於砷烷是劇毒和可燃氣體，因此使用和貯存僅可在通風的氣瓶櫃、排風櫃或有強制通風的房間內。由於它與空氣混合可形成爆炸混合氣，因此應遠離熱源和火源。使用前所有管線、接頭、設備等應徹底檢漏和接地，僅可使用防火花工具和防爆設備。 運輸中鋼瓶閥必項保護和密封。CGA規定，裝運砷烷的氣瓶必須每5年試一次水壓。在砷烷氣瓶上禁止使用泄壓部件。
毒性與防護：劇毒氣體，TLV-TWA:0.05×10-6(0.2mg/m3)。吸入250×10-6的砷烷氣可立即致死。由於中毒症狀可滯後發生，所以對於懷疑吸入砷烷的情況下，應保持醫療觀察48h。中毒症狀包括劇烈的頭痛、噁心、黃疸症、少尿和無尿，尿可變成暗色和帶血，皮膚可變成黃色或金屬金，眼睛可能由藍變白。
吸入危害性；毒性強，有似大蒜氣味。一旦吸入，可能致命；在空氣中可能生成易爆物毒性與防護：氮氣無毒、是一種窒息性氣體。
用途： 積體電路，太陽能電池等。
