直流磁控濺射電源

電源功率範圍10-120KW 20uS輸出電流穩定率0.5%冷卻方式10-60KW 20-30℃

一、工作原理及其作用

直流磁控濺射電源工作於高頻變換模式，直流輸出，電源電

流調整通過改變高頻變換的脈衝寬度來實現。電源具有良好的負
載特性，性價比高，適用於金屬及反應膜層環境使用。

二、技術說明

電源功率範圍	10-120KW
輸入電源	AC380V 三相四線制 50-60HZ ±10%
輸出方式	直流
輸出電壓	空載800V
滅弧時間	≤ 20uS
輸出電流穩定率	0.5%
冷卻方式	10-60KW 風冷 60-120KW 水冷
使用環境	環境溫度 0-40℃ 環境濕度 相對濕度 ≤ 85% 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃氣體 通風良好
冷卻水	清潔 不含礦物質及其它可溶性物質 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa

註：電源的輸出特性可根據使用需要做出相應的調整。