氣體過濾器效率
CHF過濾器捕集粉塵的量與未過濾空氣中的粉塵量之比為“過濾效率”。小於0.1mm（微米）的粒子主要作擴散運動，粒子越小，效率越高；大於0.5mm的粒子主要作慣性運動，粒子越大，效率越高。
使用壽命
濾料上積塵越多，阻力越大。當阻力大到設計所不允許的程度時，過濾器的壽命就結束。有時，過大的阻力會使過濾器上已捕捉到的灰塵飛散，出現這種二次污染時，過濾器也該報廢。
過濾器阻力
過濾器對氣流形成阻力。過濾器積灰，阻力增加，當阻力增大到某一規定值時，過濾器報廢。新過濾器的阻力稱“初阻力”；對應過濾器報廢時的阻力值稱“終阻力”。終阻力的選擇直接關係到過濾器的使用壽命、系統風量變化範圍、系統能耗。大多數情況下，終阻力是初阻力的2～4倍。
化學過濾原理
CHF化學過濾器有選擇性地吸附有害氣體分子，而不是像普通過濾器那樣機械地清除雜質。
活性炭材料中有大量肉眼看不見的微孔，其中絕大部分微孔的孔徑在5Å～500Å之間，單位材料中微孔的總內表面積可高達700～2300m2/g，也就是說，在一個米粒大小的活性炭顆粒中，微孔的內表面積相當於一個大客廳內牆面的大小。
沒有明顯化學反應的吸附稱為物理吸附，這種吸附主要靠的是范德瓦爾斯力。空氣中沸點高（常溫或更高）的游離分子接觸活性炭後，有些在微孔中凝聚成液體並因毛細管原理呆在那，有些填滿與分子尺寸相當的微孔而與材料成為一體。大氣中的氮氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氬氣等主要成分的沸點都很低，活性炭吸附不了它們。普通活性炭是疏水性材料，所以對水蒸汽的吸附能力也有限。此外，活性炭還能吸附某些空氣微生物並殺死它們。
經化學處理而使材料與有害氣體產生化學反應的吸附稱化學吸附。活性炭靠范德瓦爾斯力抓到氣體分子，材料上的化學成分與污染物起反應，生成固體成分或無害的氣體。進行化學處理的主要方法是在活性炭中均勻地摻入特定的試劑，所以經化學處理的活性炭也稱“浸漬炭”。
使用過程中，吸附能力會不斷減弱，當減弱到某一程度，過濾器報廢。如果僅為物理吸附，用加熱或水蒸汽熏蒸的辦法可使有害氣體脫離活性炭，使活性炭再生。
