氣相鍍覆

化學氣相沉積的處理溫度一般在1000℃以上。 物理氣相沉積是承襲化學氣相沉積提高表面性能的優點，克服高溫等缺點而發展起來的，主要有真空蒸鍍、真空濺射和離子鍍等方法。 物理氣相沉積的共同特點是用高能密度的鍍覆粒子撞擊工件，釋放的能量使工件發熱，但一般不超過600℃，故畸變小。

氣相沉積是在鋼、鎳基合金、鈷基合金和硬質合金表面建立金屬碳化物、氮化物、硼化物和複合化合物等覆蓋層的現代方法。覆蓋方法大致分為化學氣相沉積和物理氣相沉積兩種。化學氣相沉積的處理溫度一般在1000℃以上。通常，在工模具、高速鋼和硬質合金刀具的表面覆蓋一層碳化鈦或氮化鈦，可使使用壽命提高數十倍。化學氣相沉積形成的覆蓋層在沉積過程中可以有一二種元素擴散進入基體金屬而形成過渡層，提高結合力，但由於處理溫度高，工件易畸變，同時氣氛中含氯化氫多，容易污染大氣。物理氣相沉積是承襲化學氣相沉積提高表面性能的優點，克服高溫等缺點而發展起來的，主要有真空蒸鍍、真空濺射和離子鍍等方法。物理氣相沉積的共同特點是用高能密度的鍍覆粒子撞擊工件，釋放的能量使工件發熱，但一般不超過600℃，故畸變小。根據需要，沉積層厚度為1～150微米，一般為5～15微米。物理氣相沉積比化學氣相沉積優越之處在於溫度低（如空心陰極放電蒸鍍，工件溫度甚至不超過300℃）、畸變小，無氫脆，但設備比較複雜，而且與基體金屬的結合力尚嫌不足。

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