氣相沉積爐

氣相沉積爐

為沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,是處理工件的核心部分。

氣相沉積爐計算機控制系統使用說明書
 
前言:下圖為本控制系統對應的實際工作組成部件

⑴ 為沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,是處理工件的核心部分。
⑵ 為混氣罐,由1隻電動蝶閥、2隻浮子流量計和4隻不鏽鋼手動截止閥組成,負責氬氣和丙烷的混氣配比,以及向沉積爐內定量輸送工作氣體。
⑶ 2台滑閥泵負責爐內空氣及工作廢氣的排除,使爐子工作在恆定的壓力範圍之內
過濾罐2台負責滑閥泵前級的粉塵排除,
⑸ 真空電動蝶閥2台在滑閥泵工作過程中,通過調節閥的開度,從而可以調節泵的抽速,使爐子工作在恆定的壓力範圍之內
⑥ 加熱磁性調壓器,3台獨立工作,完成爐溫的控制
內容:為了使上述元器件能夠協調工作,工作人員更具可操作性,用於控制的計算機設定了多重畫面,多個運行參數,使得工作過程更加直觀,操作更加簡便,各操作畫面解釋如下。
啟動初始畫面,
按“進入工作系統”鍵進入主控畫面,開始工作。主控制板在系統工作過程中起到整體監控作用,系統運行時的主要參數都反映在本畫面當中

⑴ 加熱磁性調壓器工作狀態,顯示“正常”、“故障”兩種狀態
⑵ 報警滾動條,顯示上電狀態及有報警標誌
⑶ 實時曲線顯示,反映當前三個溫度和一個絕對壓力隨時間變化規律
⑷ 爐內絕對壓力數值顯示,反映內部工作時的氣體壓力
⑸ 充氣管路上的電動蝶閥,顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑥ 爐內三個溫區的溫度數值顯示,反映內部工作時的三個不同部位的溫度
⑺ 示意條顯示氣體流動方向
⑻ 抽空管路上的電動蝶閥,顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑼ 示意條顯示氣體流動方向
⑽ 抽空管路上的1#真空電動蝶閥,顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑾ 抽空管路上的2#真空電動蝶閥,顯示該閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態及閥位的當前開度大小
⑿ 抽空管路上的1#滑閥泵,顯示該閥的工作狀態包括正常運行、故障狀態
⒀ 抽空管路上的2#滑閥泵,顯示該閥的工作狀態包括正常運行、故障狀態
⒁ 功能按鈕負責螢幕的切換,“氣氛控制”切換至抽空管路的控制畫面,“溫度控制”切換至溫度參數相關的控制畫面,“加溫工藝”切換至溫度參數設定畫面,“歷史數據”切換至過去主意參數的記錄信息畫面,“事件記錄”切換至過去運行過程中發生的事件的記錄信息畫面
“氣氛控制”如下控制畫面,
充氣電動蝶閥調節器為反向調節器,抽空電動蝶閥調節器為正向調節器

⑴ 顯示該電動蝶閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態
⑵ 爐內絕對壓力數值顯示,截取1000Pa以內的壓力值,作為調節的控制反饋量
⑶ 實時控制設定值,通過設定該參數使爐內壓力保持恆定,需要充氣蝶閥和抽空蝶閥配合動作
⑷ 控制器輸出指示,隨著輸出量的增大該指示燈逐漸變亮,
⑸ 控制器手動指示,顯示控制器當前的工作狀態,
⑥ 控制器輸出指示,隨著輸出量的增大該指示進度條向右依次全部點亮
⑺ 電動蝶閥的工作狀態的控制按鈕,該按鈕顯示伺服狀態時,按下為蝶閥伺服,並顯示斷電,再次按下,蝶閥斷電,並顯示伺服,兩控制器操作完全相同
按動頁下面的“真空蝶閥”控制畫面進入下一氣氛控制畫面,畫面內容如下:
⑴ 顯示該電動蝶閥的工作狀態包括伺服、斷電狀態
⑵ 爐內絕對壓力數值顯示,作為調節的控制反饋量
⑶ 實時控制設定值,通過設定該參數使爐內壓力保持恆定,需要充氣蝶閥和抽空蝶閥配合動作
⑷ 控制器輸出指示,隨著輸出量的增大該指示燈逐漸變亮,
⑸ 控制器手動指示,顯示控制器當前的工作狀態,
⑥ 控制器輸出指示,隨著輸出量的增大該指示進度條向右依次全部點亮
⑺ 電動蝶閥的工作狀態的控制按鈕,該按鈕顯示伺服狀態時,按下為蝶閥伺服,並顯示斷電,再次按下,蝶閥斷電,並顯示伺服,兩控制器操作完全相同
⑧ 電動蝶閥控制器的工作狀態的控制按鈕,該按鈕顯示手動狀態時,按下為控制器手動,並顯示自動,再次按下,控制器自動,並顯示手動,兩控制器操作完全相同
⑨ 電動蝶閥控制器的手動輸出,按下可彈出螢幕軟體盤,進行輸出設定,設定範圍0-100,
兩控制器設定方式一致
按動頁下面的“滑閥泵”控制畫面進入另一氣氛控制畫面,畫面內容如下:

⑴ 顯示1#滑閥泵的本次運行時間 單位分鐘
⑵ 顯示1#滑閥泵的累計運行時間 單位小時
⑶ 運行狀態顯示 正常/故障
⑷ 累計故障次數
⑸ 1#滑閥泵的工作狀態的控制按鈕,該按鈕顯示啟動狀態時,按下為1#滑閥泵啟動,並顯示停止,再次按下,1#滑閥泵停止,並顯示啟動,兩控制器操作完全相同
按動本頁下面的“主控畫面”控制畫面退出到主控制板,按“溫度控制”按鈕畫面顯示如下:
本畫面共分6大功能區,分別是程式給定區,加熱控制區,1#--3#溫度調節區

程式給定區
本區可以選擇所要運行的工藝曲線(通過畫面軟體盤設定),運行(鍵值2,通過畫面軟體盤設定)、復位(鍵值1,通過畫面軟體盤設定)、暫停(鍵值4,通過畫面軟體盤設定)、及當前給定值SetPoint的顯示,據設定不同的參數完成不同的控制功能,
加熱控制區
本區可控制電源櫃的加熱電源的投入、切除,並顯示三路電源的投切情況,及非常態的報警顯示
1#溫度調節區
本區可顯示該加溫區域的當前溫度值,控制輸出值,報警狀態,能夠完成手/自動切換,條形控制項輸出及輸出值指示
2#溫度調節區(與1#溫度調節區功能相同)
3#溫度調節區(與1#溫度調節區功能相同)
按動本頁下面的“加溫工藝”控制畫面切換到如下工作畫面:
本畫面為加熱工藝曲線設定畫面,包含曲線範例,本設定曲線為第1條曲線,下方表格中“段號”為該曲線中的段號,可設定1-15段。表格中“類型”為對應段號是哪個類型的段,也即是說,曲線中的一段,或是最終的一段,設定鍵值中間段設定值為0,終止段設定鍵值為1,表格中“溫度”為對應段號所有到達的溫度,表格中“時間”為對應段號溫度所有需要的時間,
按動本頁下面的“主控畫面”控制畫面退出到主控制板,按“歷史曲線”按鈕畫面顯示如下:
畫面顯示三區溫度和一個絕對壓力的歷史記錄曲線,通過螢幕下方的按鍵,可以滾動顯示以往的數據記錄,直觀的再現過去的工作情況

按動本頁下面的“主控畫面”控制畫面退出到主控制板,按“歷史曲線”按鈕畫面顯示如下:
畫面顯示生產過程中發生的事件,比如什麼時間打開、關閉的閥門,什麼時間打開、關閉的加熱,用否手動工作等事件進行了詳盡記錄、顯示,直觀的再現過去的工作情況
本系統在使用過程中還可以進一步拓展其它便利功能,需要使用者在生產實踐中進一步體會
編者 北京東勝亞電氣技術有限公司

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