微電子設備技術研究室

研究室簡介：微電子設備技術研究室的主要工作是綜合利用微電子研究所微電子工藝優勢和多年的設備研製經驗進行微電子成套設備技術研究，以實現微電子設備國產化。 主要的科研方向為：適用於32-22納米技術代新原理裝備研究；極大規模積體電路裝備及工藝研究；利用微細加工和集成技術研究創新型原理裝備；常壓電漿技術；微納加工技術標準化研究。 本實驗室分為四個課題組，分別為：等離子新原理裝備課題組、常壓電漿課題組、射頻電源課題組、微電子設備課題組。

研究室簡介：微電子設備技術研究室的主要工作是綜合利用微電子研究所微電子工藝優勢和多年的設備研製經驗進行微電子成套設備技術研究，以實現微電子設備國產化。主要的科研方向為：適用於32-22納米技術代新原理裝備研究；極大規模積體電路裝備及工藝研究；利用微細加工和集成技術研究創新型原理裝備；常壓電漿技術；微納加工技術標準化研究。主要產品有：高密度等離子刻蝕機ICP、反應離子刻蝕機RIE、濺射台、PECVD、射頻電源、勻膠機。這些設備已長期用於微電子、光電子、微機械等領域的各加工廠、高等院校及研究所實驗室。本實驗室分為四個課題組，分別為：等離子新原理裝備課題組、常壓電漿課題組、射頻電源課題組、微電子設備課題組。