多晶矽尾氣

多晶矽企業在還原三氯氫矽過程中會產生大量氯矽烷尾氣，成分和結構複雜，主要是四氯化矽和三氯氫矽，其次還有二氯二氫矽等多種矽烷形式，分離和精餾比較困難，轉化率也非常低。目前技術路線比較可行且又比較經濟的辦法就是通過焚燒高溫水解或低溫水解氯矽烷氣體，產生25%以上的鹽酸和二氧化矽，然後解析鹽酸回收氯化氫到系統中再利用或將鹽酸出售。副產的二氧化矽含雜質較多，運輸不便，不具備商品價值，無法出售；直接排放環保部門不允許，找地方填埋代價又太大同時又會改變土壤的酸鹼度、污染地下水。所以必須進行處理。