製法
(1)矽烷或一氯矽烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應。(2)在高溫下，矽與氫及氯化氫反應，再精餾提純。
理化性質
二氯二氫矽氣體密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m
相對密度(氣體，空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.52·
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)290L/L
臨界溫度：176.0℃
臨界壓力：4676kPa
臨界密度：463kg/m3
氣化熱(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg
比熱容(25℃，氣體)：Cp=611.27J/(kg·K)
蒸氣壓(-20℃)：31.4kPa
(0℃)：81.1kPa
(20℃)：167.2kPa
粘度(氣體，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s
表面張力(20℃)：11.9mN/m
空氣中可燃範圍(20℃，101.325kPa)：4.1%～98.8%(體積)
自燃點：：111°F(44℃)
毒性
有毒氣體範圍：>0.25ppm嗅覺濃度：～1ppm
刺激性濃度：～10ppm
最高容許濃度：0.5ppm(2mg/m)
二氯矽烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此，人吸入後激烈刺激呼吸道，引起嗆咳、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚並導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學燒傷。液態二氯矽烷也可引起冷燒傷。
安全防護
可把二氯矽烷看作火源，禁止在任何火災危險區存放鋼瓶或敷設二氯矽烷的管道。氣體用鋼瓶貯裝，鋼瓶要存放在陰涼乾燥通風的室外或強制通風的室內，要遠離氧化劑、火源和熱源。設備管道等使用前須脫水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性氣味來檢漏。所有設備管道要接地。設備或裝置暫時不用或延長停產時間時，應把二氯矽烷放出來，充入乾燥的惰性氣體。有水分時二氯矽烷呈強酸性，腐蝕性極強。對無水二氯矽烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅矽合金、黃銅等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯矽烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。
當發生火災時，首先要關閉氣瓶閥，斷絕氣源。滅火時，如果用水，則產生大量氯化氫，如果用鹼性粉末，則產生氫氣，因此這兩者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。
廢氣可用水或苛性鉀等鹼液吸收，可以用相應的吸附劑吸附，也可以在嚴格控制下燃燒。
