四甲基氫氧化銨

基本介紹

四甲基氫氧化銨(TMAOH)Tetramethylammonium hydroxide
Beilstein 號:
危險等級:8級,屬第8.2類鹼性腐蝕品。
危規編碼:82019
聯合國編號:1835
中文名稱:四甲基氫氧化銨
英文名稱:Tetramethylammonium Hydroxide
英文別名:TMAH
CAS號:75-59-2
分子式:C4H13NO
分子量:91.15
等級:GR
MDL號:MFCD00008280
簡介:
無色結晶(常含三、五等結晶水),極易吸潮,有一定的氨氣味,具有強鹼性,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,形成碳酸鹽為有機強鹼,具有較強的腐蝕性。通常制10%、25%的水溶液,含5分子結晶水的四甲基氫氧化銨為無色潮解性針狀結晶,熔點63℃,沸點120℃,加熱到沸點時易分解成三甲胺和甲醇,比重1.00(25/4℃)。
指標:
項目 指標
外觀 白色針狀結晶
分子式 (CH3)4NOH·5H2O
純度(%) ≥99.7
鹼含量(%) ≥46.5
碳酸鹽(%) ≤1.5
製法:
四甲基氫氧化銨的製法主要有加成法,沉澱法,電解法,離子膜法,離子膜電解法等。

物化性質

四甲基氫氧化銨 (75-59-2)性狀:
沸點:110 °C密度:0.866 g/mL at 25 °C
蒸氣壓:17.5 mm Hg ( 20 °C)
折射率:n20/D 1.384
閃點:80 °F
儲存條件 2-8°C
穩定性:穩定的,易燃。不相容的是具有較強氧化劑,如強大的胺基酸。

用途

用途一:
在有機矽方面,四甲基氫氧化銨作為二甲基矽油,氨基矽油苯甲基矽油,有機矽擴散泵油,無溶劑有矽模塑膠,有機矽樹脂,矽橡膠等的催化劑;
在分析方面,四甲基氫氧化銨作為極譜試劑;
在產品提純方面作為無灰鹼用以沉澱許多金屬元素;
在有機矽片生產中常用作計算機矽片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。
在電路板的印刷和顯微鏡片的製造中,可作為積體電路板的清洗劑和半導體微加工技術中si-sio2界面的各向異性腐蝕劑。
用作CMP過程清洗劑,IC.vlsi及TFI-LCD正膠顯影劑。
用途二:用作計算機矽片面的光亮劑、觸刻劑等
用途三:用作極譜分析試劑​
優點:
四甲基氫氧化優點是:它具有強鹼性,在不超過分解點的溫度下穩定。當催化完畢後很容易除掉,不留任何殘渣。對有機矽產品無污染。因此又稱為“暫時催化劑”,在分析中可用於極譜試及用來沉澱不含灰份的許多元素的氫化物。
包裝:
塑膠瓶、塑膠桶。
工業上常用25%四甲基氫氧化銨溶液
工業級四甲基氫氧化銨(TMAH,25.0%)
描述 無色或淡黃色溶液
分子式: (CH3)4NOH
分子量: 91.15
MIN MAX
規格 含量 % 24.50 25.50
碳酸根 ppm 500
氯離子 ppm 10
甲醇 ppm 300
鈣 ppm 1
鐵 ppm 1
鉀 ppm 1
鎂 ppm 1
鈉 ppm 1
色度(APHA) 10
物理性能 形態 液體
沸點 C 140.0
凝固點C <-25.0
粘性25 C, cst 2.8
比重 @ 60 F 1.022
閃點 F >200
pH >13
氣味 胺味
包裝:200KG塑桶或按客戶要求。

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