單環縫噴嘴

單環縫噴嘴是關於能防止塗敷結束時的液體滴落，用少量的處理液可在基板上形成膜厚度均勻的處理液膜的噴嘴裝置及基板處理裝置。

簡介

本發明是關於能防止塗敷結束時的液體滴落，用少量的處理液可在基板上形成膜厚度均勻的處理液膜的噴嘴裝置及基板處理裝置。噴嘴裝置(10)，具有在下面形成的多個排出口(18)、將所供應的處理液滯留的液體滯留室(22)、與所述各排出口(18)分別連通，使處理液從各排出口(18)排出的多個液體排出流路(17)。各個液體排出流路(17)的上端設定為高於所述液體滯留室(22)的上端，他們通過連線通道(23)相互連通。並且，連線通道(23)內部的最低高度設定為0.05mm以上0.2mm以下，所述各個液體排出流路(17)的最小口徑設定為0.35mm以上1.0mm以下。