可動離子電荷

可動離子電荷-指二氧化矽中可動的電離正離子電荷。絕大多數為金屬離子電荷和氫正離子。

可動離子電荷絕大多數為金屬正離子電荷；由於多種原因最重要的可動離子電荷是鈉離子；可動鈉離子的來源是非常廣泛的（器件製造中的設備沾污；所用氣體、化學試劑、器皿、去離子水的純度；操作人員的沾污等）；而可動鈉離子電荷在二氧化矽中的分布，是在二氧化矽-矽界面二氧化矽一側。關於固定氧化物電荷，指出：固定氧化物電荷的分布，是在二氧化矽-矽界面二氧化矽一側距界面一百埃到二百埃的範圍內；固定氧化物電荷的來源是二氧化矽中過剩的矽離子（氧空位）