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刻蝕工藝
把未被抗蝕劑掩蔽的薄膜層除去,從而在薄膜上得到與抗蝕劑膜上完全相同圖形的工藝。在積體電路製造過程中,經過掩模套準、曝光和顯影,在抗蝕劑膜上複印出所需的圖...
刻蝕工藝 正文 配圖 相關連線 -
刻蝕技術
刻蝕技術(etching technique),是在半導體工藝,按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術。刻蝕技術...
過程 技術 套用 工藝分類 -
等離子刻蝕速率
等離子刻蝕速率是指等離子刻蝕過程去除晶片表面不需要材料的速度,刻蝕速率正比於蝕劑濃度,與晶片表面形狀等因素有關。
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丙烯酸酯壓敏膠黏劑
丙烯酸酯壓敏膠黏劑,可分為溶劑型、乳液型和光固化型等品種。
基本概念 基本特點 套用 分類 發展趨勢 -
鋁合金酸性微蝕劑
鋁合金酸性微蝕劑特點特別適用於鋁合金前處理中的弱腐蝕,能提供均勻而不傷基體的刻蝕。將表面無機膜除除去,為後續電鍍層提供良好的結合力。反應溫和...鋅劑使用,效果更佳。溶液組成及操作條件原料及操作條件 標準開缸量 範圍...
鋁合金酸性微蝕劑 -
電子束與離子束微細加工
、離子束摻雜(見離子注入摻雜工藝)和離子束刻蝕;離子束曝光、離子束外延...的電子束照射抗蝕劑,經顯影后在抗蝕劑中產生圖形的一種微細加工技術。對於正性抗蝕劑,在顯影后經電子束照射區域的抗蝕劑被溶解掉,而未經照射區域的抗蝕劑...
正文 -
微加工導論
的基本結構 21.2刻蝕劑 21.3刻蝕掩膜和保護層 21.4刻蝕速率...工藝部分包括了薄膜製備、外延、光刻、刻蝕、熱氧化、擴散、離子注入...、電漿刻蝕結構、濕法刻蝕的矽結構、犧牲層結構和沉積的結構;工藝集成部分包括...
簡介 目錄 -
微細電解加工
。 約束刻蝕劑層技術約束刻蝕劑層技術( Confined Etchant...或光化學反應在三維圖形的模板表面產生刻蝕劑,當刻蝕劑向溶液中擴散時 ,與溶液中的捕捉劑迅速發生反應 , 致使刻蝕劑幾乎無法從模板表面往溶液深處擴散...
典型微細電解加工技術 微細電解加工的最新成果 未來展望 -
非水基塗料
上光劑、皮革光亮劑配方工藝生產技術1、膠印聯線水性滾塗上光油及其製備方法2、木質地板、家具護理劑及其製備方法3、一種人造玉、瑪瑙裝飾製品的生產...的液體鞋油10、固定光催化劑方法及組成物11、汽車清潔增光劑12、一種氣霧劑...
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微納米加工技術及其套用
的鄰近效應及其校正 3.7 低能電子束曝光 3.8 電子束抗蝕劑及其工藝 3.8.1 高解析度電子束抗蝕劑 3.8.2 化學放大抗蝕劑 3.8.3 特殊顯影工藝 3.8.4 多層抗蝕劑工藝...
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