基本信息
中文名稱： 六氟乙醯丙酮鈀(II)
英文名稱： Palladium(II)hexafluoro-2,4-pentanedionate
英文別名： Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate
CAS號： 64916-48-9
分子式： C10H8F18O4Pd
線性分子式： Pd(C5HF6O2)2
分子量： 520.52
MDL號： MFCD00015709
Beilstein號：
EC號： 265-271-1
性狀描述
黃色粉末
用途說明
MOCVD前驅體化合物；均相催化劑; 用於氧化還原金屬置換反應，以最佳化銅的化學氣相沉積合金化工藝；用於同時進行銅的蝕刻和鈀的沉積，從而套用於超大規模集成設備
危險說明
危險代碼:Xi
危險等級:36/37/38
安全等級:26-36
