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乾法刻蝕
乾法刻蝕是用電漿進行薄膜刻蝕的技術。當氣體以電漿形式存在時,它具備兩個特點:一方面電漿中的這些氣體化學活性比常態下時要強很多,根據被刻蝕材料...
基本內容 -
薄膜技術與薄膜材料
薄膜技術與薄膜材料,書名,關於薄膜及微細加工技術的套用範圍,從大規模積體電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、感測器、太陽能電池,到材...
圖書信息1 圖書信息2 -
微納米加工技術及其套用
《微納米加工技術及其套用》作者崔錚,2009年高等教育出版社出版。Z總結多年來的實踐經驗與研究成果,並結合近年來國際上的最新發展,綜合介紹了微納米加工技...
圖書信息 內容簡介 作者簡介 -
刻蝕技術
刻蝕技術(etching technique),是在半導體工藝,按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術。刻蝕技術...
過程 技術 套用 工藝分類 -
薄膜技術與薄膜材料[2011年清華大學出版社出版圖書]
薄膜及微細加工技術的套用範圍極為廣泛,涉及高新技術產業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎、薄膜製備、微細加工、薄膜材料及套用等4大部分,涉及薄膜技術與...
圖書信息 內容簡介 目錄 -
半導體積體電路製造技術
《半導體積體電路製造技術》根據半導體積體電路的基本原理和內部結構以及版圖設計,通過半導體材料製備、化學清洗、薄膜沉積、NP摻雜、光刻、金屬化處理、生產整...
內容簡介 作者簡介 目錄 前言 -
《半導體製造技術》
《半導體製造技術》是(美)夸克,(美)瑟達編著的科技類作品,由電子工業出版社在2009年7月1日出版。本書詳細追述了半導體發展的歷史並吸收了各種新技術資...
內容簡介 圖書目錄 部分章節 -
薄膜技術與薄膜材料[2006年清華大學出版社出版圖書]
《薄膜技術與薄膜材料》是2006年8月1日清華大學出版社出版的圖書,作者是田民波。 本書講述了薄膜及微細加工技術的套用範圍及真空技術基礎等知識。
內容提要 目錄 -
積體電路製造技術
《積體電路製造技術》是2010年9月哈爾濱工業大學出版的圖書,作者是王蔚。
本書內容 讀者對象 本書特色 目錄 -
應力記憶技術
應力記憶技術( Stress Memorization Technique,SMT),是90nm邏輯技術節點以下興起的一種著眼於提升NMOS器件速度的應...
簡介 應力記憶技術的分類 應力記憶的工藝流程