中頻交流脈衝磁控濺射電源

原理及其作用

中頻交流脈衝磁控濺射電源工作於二級高頻變換模式，雙極性脈衝輸出，正反脈衝寬度互補調節，中頻建設電源以連個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，通過調整AB靶的比例脈寬來控制不同的濺射速率，從而控制兩種不同材質靶材的濺射比例，用於製作兩種或兩種材料以上的金屬或反映膜層。電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整。

技術說明

電源功率範圍	10--80KW
輸入電源	AC380V 三相四線制 50-60HZ ±10%
輸出方式	雙極性脈衝
脈衝寬度	10-901%互補調整
輸出頻率	1-25KHZ
輸出電壓	空載1000V[正向或反向峰值]
滅弧時間	≤3uS
輸出功率穩定性	1%
冷卻方式	2-10風冷 10-80KW水冷
使用環境	環境溫度 0-40℃ 環境濕度 相對濕度 ≤85% 空氣清潔 無粉塵 霧腐蝕性易燃性氣體 通風良好
冷卻水	清潔 不含礦物質及其它可溶性物質 水溫20-30℃ 壓力0.15±0.05Mpa