中頻交流磁控濺射電源

原理及其作用

中頻交流磁控濺射電源

中頻磁控濺射電源工作於二級高頻變換模式，交流正弦輸出，電源輸出頻率設為典型的中頻濺射電源以兩個濺射靶作

為負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內一半以上

的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄

放時，有利於抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用於反應膜

層環境使用。

技術說明

電源功率範圍	10-120KW
輸入電源	AC380V 三相四線制 50-60Hz ±10%
輸出頻率	40KHz
輸出電壓	空載1000V[有效值]
滅弧時間	≤3uS
輸出電流穩定率	0.25%
冷卻方式	2-10KW 風冷 10-120KW 水冷
使用環境	環境溫度 0-40℃ 環境濕度 相對濕度 ≤ 85% 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃氣體 通風良好
冷卻水	清潔 不含礦物質及其它可溶性物質 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa

註：電源的輸出特性可根據使用需要做出相應的調整。