奧林巴斯
奧林巴斯（OLYMPUS）創立於1919年，1920年在日本第一次成功地將顯微鏡商品化；在癌症防治領域起著極其重要作用的內窺鏡，也是 1950 年由奧林巴斯在世界上首次開發的。迄今為止，奧林巴斯株式會社已成為日本乃至世界精密、光學技術的代表企業之一，事業領域包括醫療、生命科學、影像和產業機械。2011年11月8日，奧林巴斯承認利用企業收購掩蓋投資損失，該公司隱瞞的損失額超過1000億日元（約合人民幣82億元）。產品介紹
OLYMPUS MX61L半導體/FPD檢查顯微鏡MX61L，透反射照明型顯微鏡是OLYMPUS MX61型號的升級版本，L即為長工作距離，適用最大300mm的樣本，大平台的顯微鏡。
能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
應對明視場觀察到螢光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物台，能應對大型樣本。
對比
OLYMPUS MX61L與OLYMPUS MX61的對比：半導體/FPD檢查顯微鏡 規格 | 奧林巴斯MX61L | 奧林巴斯MX61 | ||
光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正） | |||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/螢光 | ||
反射/透射 | 反射/透射 | |||
照明裝置 | 機身一體型（明視場，暗視場+1選件） | |||
照明系統 | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | ||
透射照明 | 纖維光導 | |||
對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | ||
行程 | 32 mm | |||
解析度/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | |||
最大樣本高度 | 30 mm | |||
物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | ||
明暗視場微分干涉5孔 | ||||
明暗視場微分干涉6孔 | ||||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | ||||
手動式 | - | |||
載物台 | 行程 | 14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明範圍356×284 mm） | 8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明範圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm | |
觀察筒 | 廣角視場 （視場數22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 | |
正像 | 三目觀察筒 | |||
超寬視場 （視場數26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | ||
正像 | 傾斜三目觀察筒 | |||
附屬檔案單元 | DUV單元/IR單元/電動載物台/自動裝載 | |||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm （標準組合） | 509（W）×843（D）×507（H）mm （標準組合） | ||
重量 | 51 kg（標準組合） | 40 kg（標準組合） | ||
操作指南
主要操作集中配置在前面板上前面板 [1] 照明強度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調節 | 在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調節，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。 |
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒
傾斜鏡 | 為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可採取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平台上輕鬆操作。 |
高靈敏度載物台可以迅速決定位置
內置離合器的載物台手柄 | 對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物台有較大的透射照明範圍（Y方向284 mm）。另外，內置離合器的載物台手柄，可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物台，快速完成檢查。 |
安全快速的搬運晶圓
自動晶圓搬送機AL110（200 mm規格）組合 | 奧林巴斯MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合後的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執行從內面的巨觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕鬆設定。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。 |
