OLYMPUS MX61

觀察鏡筒超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5)

具體介紹

OLYMPUS MX61L具體介紹 :

OLYMPUS MX61L OLYMPUS MX61L
型號OLYMPUSMX61L型顯微鏡
光學系統UIS2光學系統(無限遠校正光學系統)
顯微鏡鏡體射光照明(F.N. 26.5) 12V100W鹵素燈泡(預定心型) 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組(選配) ,轉換使用內置電動孔徑光闌(每個物鏡可預設,物鏡轉換時自動轉換,暗視場觀測時自動打開)
觀測方法
①反射光明視場法;②反射光暗視場法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法;④反射光簡單偏振法;⑤反射光螢光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場法;⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
觀察鏡筒 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標準配置)
換鏡轉盤電動五孔明/暗視野法用轉盤,配備滑槽用於微分干涉襯比法觀測:U-D5BDREMC型
載物台 MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm 原裝日本中央精機2軸電動平台,可以進行XY軸同時聯動。 帶12寸晶圓載物台板。
內置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz
能耗
體積/重量 體積:約710(寬)×843(長)×507(高)mm 重量:約51kg(載物台約重31kg)

特點

半導體/FPD檢查顯微鏡;為用戶提供高效率。

MX61適用於最大200mm的樣本,而MX61L則可適用於最大300mm的樣本。

1、大型載物台搭載:可用於400*300mm液晶基板,300mm晶圓全面檢查(MX61L)。

2、採用高NA的透射光聚光鏡,圖象更銳利。

3、多種觀察方式,多種照明方式,多種附屬檔案以滿足不同套用要求。

4、透射和反射照明可同時使用,極大提高液晶基板觀察效果。

對比

OLYMPUS MX61L與OLYMPUS MX61的對比:

半導體/FPD檢查顯微鏡 規格 MX61L MX61
光學系統 UIS2光學系統(無限遠校正)
機身 觀察方法 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/螢光
反射/透射 反射/透射
照明裝置 機身一體型(明視場,暗視場+1選件)
照明系統 反射照明 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明 纖維光導
對焦單元 電動/手動 手動
行程 32 mm
解析度/微調靈敏度 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
最大樣本高度 30 mm
物鏡轉換器 電動型 明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動式 -
載物台 行程 14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm
(透射照明範圍356×284 mm)
8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm
(透射照明範圍189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:
158(X)×158(Y)mm
觀察筒 廣角視場
(視場數22)
倒置 雙目/三目觀察筒
正像 三目觀察筒
超寬視場
(視場數26.5)
倒置 三目觀察筒
正像 傾斜三目觀察筒
附屬檔案單元 IR單元/電動載物台/自動裝載
外形尺寸 710(W)×843(D)×507(H)mm
(標準組合)
509(W)×843(D)×507(H)mm
(標準組合)
重量 51 kg(標準組合) 40 kg(標準組合)

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