為小尺寸的高速、高精度測量而設計，擁有150 x 150 x 150mm量程的全自動非接觸式三維坐標測量系統。全自動小行程，擅於測取接觸式量儀所無法測量的各種微小尺寸以及柔軟材料的外形尺寸等。8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的雷射自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜尋和高倍精密測量兩方面的需求。1、2、3 型3 個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求；較長的工作距離（50 毫米），可以滿足測量對工件高度方向的空間要求；高達15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場搜尋和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比，採用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確；高速、高精度 TTL 雷射自動對焦功能。（但VMR-1515的Performa 型，僅有影象自動對焦功能，無雷射自動對焦功能。）套用領域：半導體封裝、印刷電路板、衝壓件、注塑件、連線器及各種小零件，如鐘錶元件等。連線器管腳PGA針腳小模數塑膠齒輪Z120X型（帶高倍頭）光學放大倍數最高可達120X，能夠測量微距線寬；高精度 TTL 雷射自動對焦裝置，具有雷射光束細、光斑小的特點，支持精細雷射掃描測量；特別適合經過精細加工的小型精密零件的測量；可選配表面形貌分析軟體（Bird's-Eye View），用來顯示 MEMS 部件的三維表面形貌。套用領域：
小型高密度印刷電路板、小型精密模具、半導體封裝（二維+高度），MEMS 部件等。對焊接引線雷射掃描半導體封裝LU 型（通用反射照明器 / 電動物鏡轉換器）光學頭採用尼康著名的CFI60光學系統，可以使用尼康 CFI60 LU 全系列顯微物鏡；具有明場、暗場、DIC、簡易偏光等顯微觀察方式；配備電動通用五孔物鏡轉換器；可裝備帶有玻片厚度修正功能的、專門用於液晶板觀測的尼康CF IC LCD Plan CR系列物鏡；易於使用的軟體，可控制系統所有功能。套用領域：
小型液晶顯示器、有機EL面板、直徑在150 毫米以內的矽片等。
