概述
靜電力顯微鏡（英文名：Electrostatic Force Microscopy, 簡稱EFM）是一種利用測量探針與樣品的靜電相互作用，來表征樣品表面靜電勢能，電荷分布以及電荷輸運的掃描探針顯微鏡。工作原理
靜電力顯微鏡的工作原理與原子力顯微鏡類似。關鍵部分都是由懸臂樑組成的探針。但與原子力顯微鏡測量探針與樣品的范德華力不同，靜電力顯微鏡通過測量兩者的庫侖相互作用來實現樣品成像。工作時，探針與樣品之間被加上工作電壓，懸臂樑探針受靜電力的作用，在樣品表面震盪，但不接觸樣品表面。范德華力隨著原子間距離r成1 / r6衰減，因而原子力顯微鏡必須保證探針與樣品表面幾乎接觸。相比之下，隨1 / r2衰減的庫侖力較為長程，通常探針與樣品表面的工作距離為100納米。假設樣品與探針之間的電壓為ΔV，等效電容為C，那么系統的總能量為：
用z來代表樣品表面的法線方向，則探針所受的靜電力可以表示為：
與原子力顯微鏡相同，靜電力顯微鏡也可以在液體環境中工作。
