近場光學顯微鏡

近場光學顯微鏡是採用亞波長尺度的探針在距離樣品表面幾個納米的近場範圍進行掃描成像的技術。如利用孔徑在20-90nm的近場探針在樣品上進行掃描而同時得到解析度高於衍射極限的形貌像和光學像的顯微鏡。
傳統光學顯微鏡的解析度受到光學衍射極限影響，解析度不超過該波長尺度範圍。與傳統光學顯微鏡不同的是，近場光學顯微鏡利用亞波長尺度探針，可以得到更小解析度。