石墨舟裝片房

石墨舟裝片房是用於太陽能行業與PECVD 承載車配套、裝取矽片、配製中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到淨化要求。

設備介紹

石墨舟裝片房是用於太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取矽片、配製中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到淨化要求。

工作原理

空氣通過高效過濾後,阻尼層均壓,使潔淨的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區,從而保證了工作區內達到工藝要求的潔淨度,操作人員在潔淨的環境中往石墨舟上裝矽片。

主要特點

1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;

2、採用不鏽鋼製造,整機結構堅固可靠;

3、採用GK系列高效空氣過濾器3隻;

4、PECVD承載車在裡面可傾斜15度或旋轉180度;

5、淨化風機噪音小於50dB。

6、保證了工作區內達到工藝要求的潔淨度100級。

技術參數

型號 CLM-SMZPF-01
電機功率 800W 220V
外型尺寸(長*寬*高) 1585*888*2590mm

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