按所利用的能源形式分類有:①電熱、電化學加工法。其中電火花加工、電解加工和陽極機械切割等方法適於加工導電材料;電子束加工和等離子弧加工,不受加工件導電與否的限制。②超聲加工法。利用聲能加機械能可加工玻璃、石英、寶石、半導體等脆硬材料。③雷射加工法。利用高度集中的雷射束所產生的光能和熱能,可加工金屬或非金屬的超高硬度的材料。尤其是在鑽石上加工微米級小孔,這幾乎是唯一的方法。特種加工的發展方向是:發展幾種方法聯合使用的複合加工,提高精度和表面質量,發展納米級的超微細加工。
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