微光學和納米光學製造技術

內容介紹

《國際信息工程先進技術譯叢:微光學和納米光學製造技術》詳細介紹了微光學和納米光學元件成功的、最新的製造工藝，重點強調了關鍵性的專業技巧，提供了最新的技術信息，內容包括面浮雕衍射光學元件、微光學電漿刻蝕加工技術、使用相位光柵掩模板的模擬光刻術、光學器件的電子束納米光刻製造技術、納米壓印光刻技術和器件套用、平面光子晶體的設計和製造、三維（3D）光子晶體的製造——鎢成型法。
《國際信息工程先進技術譯叢:微光學和納米光學製造技術》參編作者都是微納米光學製造技術領域的專家，代表了當今微光學加工的領先水平。可供光電子領域從事光學儀器設計、光學設計和光機結構設計（尤其是從事光學成像理論、微納米光學研究）的工程師使用，也可以作為大專院校相關專業本科生、研究生和教師的參考書。